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    上海準權儀器設備有限公司


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    供應化學(xué)機械磨拋機哪家好

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間：2025-01-26 06:30:49瀏覽次數：115次

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    經(jīng)營(yíng)模式：其他

    商鋪產(chǎn)品：500條

    所在地區：上海上海市

    聯(lián)系人：張小姐

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿(mǎn)足晶圓等面型加工的需求。

    詳細介紹

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介：UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿(mǎn)足晶圓等面型加工的需求。

    產(chǎn)品名稱(chēng)

    UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

    安裝條件

    本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水：設備配有上水口及下水口，需自行連接自來(lái)水及下排水

    2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

    3、氣：無(wú)

    4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上

    5、通風(fēng)裝置：不需要

    主要特點(diǎn)

    1、超平不銹鋼拋光盤(pán)（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。

    2、超精旋轉軸（托盤(pán)端跳小于0.01mm）。

    3、設有兩個(gè)加工工位，可分別進(jìn)行控制。

    4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板，可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。

    5、配置自動(dòng)滴料器，流量速率可視化調整，自動(dòng)研磨和拋光。

    6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調節壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。

    7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。

    技術(shù)參數

    主機部分

    GPC-100A精密磨拋控制儀

    自動(dòng)滴料器

    1、電源:220V

    2、功率:450W

    3、磨拋盤(pán)轉速:10-240rpm

    4、磨拋工位:2個(gè)

    5、擺臂調節檔位:1-15檔;

     (改前調速檔位為1-3)

    6、托盤(pán)端跳:0.008/250mm

    7、不銹鋼磨拋盤(pán):φ300mm

    8、載樣盤(pán):φ105mm

    9、修盤(pán)環(huán):φ0127.5mm

    1、載樣盤(pán)直徑：?103mm

    2、載樣盤(pán)軸向行程：12mm

    3、數顯表精度：0.001mm

    4、載樣盤(pán)可調加載壓力：

               0.1kg-2.1kg

    5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g

    6、樣品裝卡方式：真空吸附

    7、承載樣件尺寸：

     直徑≤103mm、 厚度≤12mm

    8、尺寸：外徑146mm，高266mm

    SKZD-2滾筒滴料器

    1、容積：1.5L

    2、流量：0-35ml/min

    3、尺寸：170×290×350mm；

     重量：3kg

    SKZD-4自動(dòng)滴料器

    1、加液泵：4個(gè)

    2、料液瓶：600ml/瓶

    3、計時(shí)范圍：1-999min

    4、流量：0.1ml/min-10ml/min

    5、尺寸：230×370×450mm；

     重量：10kg

    產(chǎn)品規格

    1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

    2、重量:90Kg

    標準配件

    1

    		鑄鐵研磨盤(pán)1個(gè)研磨盤(pán)

    2

    不銹鋼拋光盤(pán)

    1個(gè)

    3

    載物盤(pán)

    1個(gè)

    4

    修盤(pán)環(huán)

    1個(gè)

    5

    SKZD-2滴料器

    1個(gè)

    滴料器

    6

    SKZD-4自動(dòng)滴料器

    1個(gè)

    滴料器

    7

    GPC-100A精密磨拋控制儀

    1個(gè)

    8

    拋光墊

    （磨砂革、合成革、聚氨酯）

    各1片

    9

    剛玉研磨微粉

    0.5kg

    10

    石蠟棒

    4根

    可選配件

    1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵

    2、精密測厚儀

    3、陶瓷研磨盤(pán)

    4、玻璃研磨盤(pán)

    5、磁性樹(shù)脂金剛石研磨片

    <strong><strong><strong>UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機</strong></strong></strong>




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