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    詳細介紹

    美國Angstrom Sciences公司 濺射陰極及靶材

     美國安斯超科學(xué)公司(Angstrom Sciences，Inc)成立于1988年,，是一家

    專(zhuān)業(yè)從事物理氣相沉積磁控濺射陰極及濺射靶材的高科技專(zhuān)業(yè)公司，專(zhuān)利

    的磁場(chǎng)設計和的水冷技術(shù)使其產(chǎn)品倍受歡迎。安斯超公司對磁控濺射

    靶陰極的磁體外形和冷卻循環(huán)結構進(jìn)行了科學(xué)合理地優(yōu)化設計，并且選取

    更強的磁體（比稀土磁體強30％），從而使安斯超的靶陰極比常規的靶陰

    有更為的性能。



    核心技術(shù)及特點(diǎn)：

    特殊設計的磁體結構，使得磁場(chǎng)線(xiàn)跨度范圍更寬，從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性

    湍流冷卻技術(shù)，使得水流能夠更平緩的進(jìn)入陰極，從而提高冷卻效果

    特殊設計的耙材固定結構，使得耙材更換起來(lái)更簡(jiǎn)單，降低停工期

    的磁體材料 NdFeB，他的強度比其他的稀土磁體要強30%

    的靶材利用率，可以達到50%，從而降低靶材成本

    的產(chǎn)品均勻性，可以達到±3% 

    可以在更低的真空以及更高的功率下運行：壓力可以達到10-4TOR

    直接水冷結構可以提高其功率密度達到250Watt s/in2

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