深圳市利方達科技有限公司
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深圳市利方達科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號TSV1300
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地深圳市
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更新時(shí)間：2024-03-07 18:55:18瀏覽次數：126次
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產(chǎn)地：深圳龍崗區（TSV1300精密光學(xué)鍍膜設備）...
應用范圍：
該設備采用 e 型電子槍蒸發(fā)源，可蒸發(fā)各種高熔點(diǎn)金屬和氧化物 ，可在玻璃，塑料,陶瓷基體上鍍制各種多層薄,如:紅外膜、寬帶增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干截止濾光片、偏振膜、電學(xué)膜， 適用于眼鏡、光學(xué)鏡頭、精密光學(xué)元件、激光和電子行業(yè)的大規模工業(yè)生產(chǎn).
主要特點(diǎn)：
l 電子槍輸出功率穩定，特殊結構設計有效杜絕二次電子的產(chǎn)生和電子槍打火。
l 轉動(dòng)采用磁流體引入,長(cháng)期運轉密封可靠。
l 工件轉動(dòng)座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩可靠，徑向和軸向跳動(dòng)3-5mm。
l 采用PLC+觸摸屏控制, 多重泵閥水電互鎖互保護，可全程自動(dòng)控制,包括真空系統,烘烤系統,整個(gè)蒸發(fā)鍍膜過(guò)程。
l 安裝采用全程四極質(zhì)譜監控和氦質(zhì)譜檢漏, 真空密封性好, 設備工藝穩定可靠。
l 所有零部件采用國內廠(chǎng)家, 電器元件采用進(jìn)口或合資企業(yè)產(chǎn)品, 設備24小時(shí)連續長(cháng)期運行可靠穩定。
基本參數：
1. 立式前開(kāi)門(mén)結構，不銹鋼真空室Φ1300X1500mm
2. 極限真空：1×10-4Pa（空載清潔真空系統，300°烘烤后）。
3. 恢復真空時(shí)間：大氣至4×10-3Pa≤15min。
4. 大抽速主泵，KT-630型擴散泵（18000L/s）兩臺，配備防湍流裝置。
5. 工件轉動(dòng)：采用磁流體密封轉動(dòng)裝置，轉動(dòng)座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩可靠。
6. 工件烘烤：桶狀上烘烤,三點(diǎn)控溫,烘烤溫度350°。
7. 永磁E型電子槍?zhuān)瑯尮β?span>10KW/支；可配置單槍或雙槍?zhuān)嘌ㄛ釄搴铜h(huán)形坩堝。
8. 配備美國Inficon公司生產(chǎn)的SQC310C 或IC6型石英晶體膜厚控制儀。
9. 10英寸觸摸屏和歐姆龍（PLC）編程控制器，對設備真空系統、蒸發(fā)源系統、烘烤系統、工件轉動(dòng)系統、膜厚監控系統等進(jìn)行監測和控制，可采用自動(dòng)和手動(dòng)兩種模式。
10. 可選配Φ16CM的離子源或深冷低溫冷阱。
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