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    捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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    捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學(xué)系統經(jīng)過(guò)改進(jìn)，實(shí)現了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒(méi)式物鏡和High Power Optics照明系統，能提供穩定的高空間分辨率觀(guān)察和分析。 此外還具備利用GE...

    詳細介紹

    捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學(xué)系統經(jīng)過(guò)改進(jìn)，實(shí)現了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒(méi)式物鏡和High Power Optics照明系統，能提供穩定的高空間分辨率觀(guān)察和分析。
    此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀(guān)察、通過(guò)r-filter分選信號等滿(mǎn)足各種需求的高擴展性。
    捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)如下：
    1.半浸沒(méi)式物鏡在樣品周?chē)纬蓮姶艌?chǎng)，因而可以獲得超高分辨率。
    2.High Power Optics 是的電子光學(xué)系統，既實(shí)現了高倍率觀(guān)察又能進(jìn)行多種分析。浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)梢垣@得10 倍于傳統肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)‵EG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來(lái)能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統，從高倍率圖像觀(guān)察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

    二次電子像分辨率 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ）
    分析時(shí) 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA )
    倍率 Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
    Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
    加速電壓 0.1 ～ 30 kV
    探針電流 數 pA ～ 200 nA
    電子槍 浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
    透鏡系統 聚光鏡（CL）、  光闌角控制鏡（ACL）、  半浸沒(méi)式物鏡（OL）
    樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動(dòng)
    電子檢測器系列 高位檢測器、　r‐過(guò)濾器　內置、  低位檢測器
    自動(dòng)功能 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調節
    圖像觀(guān)察用
    液晶顯示器    		 屏幕尺寸 23英寸寬屏
     分辨率　1,920 × 1,080像素
    抽真空系統 電子槍室／中間室　SIP 離子泵
    樣品室　TMP 分子泵


     

     


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