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    上海玖蘇科技有限公司


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    AD3000T--12寸對向型全自動(dòng)雙軸機

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間:2023-10-09 12:40:13瀏覽次數:126次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    AD3000T--12寸對向型全自動(dòng)雙軸機

    詳細介紹

    AD3000T--12寸對向型全自動(dòng)雙軸機

         

          先端技術(shù)的融合及應用支持體系 大大提高了顧客滿(mǎn)意度

          運用的核心技術(shù),實(shí)現了占地面積小、生產(chǎn)效率高及優(yōu)異的 CoO 性能。

    獨自開(kāi)發(fā)*的對向式雙軸加工模式帶來(lái)的高效加工能力,結構非常優(yōu)化的斜向配置

    帶來(lái)的維護便利性,連續多年獲得半導體行業(yè)供應商榮譽(yù)帶來(lái)的信賴(lài)性。

     

    特征

        1. 選配單元的小型化,內部設計的優(yōu)化,使得主要選配單元內藏成為可能。

        2. 標準搭載6萬(wàn)轉的主軸(8萬(wàn)轉選配可對應)


        3. 加工效率提高

           ①. X軸速度1000mm/s,Y軸速度300mm/s,Z軸速度80mm

           ②. 搭載2個(gè)光學(xué)式測高單元/s

         4. 17英寸觸摸屏+GUI

             搭載了GUI(用戶(hù)操作界面),易于觀(guān)察的畫(huà)面和大型的按鈕,在增強

             操作性的同時(shí),采用了對話(huà)式的容易理解的輸入方式。

        5. 維護性向上 

            大型的前部維護門(mén)提高了維護的便利性

          


    充實(shí)的option

      1. 磨刀工作臺

         可搭載275mmX75mm尺寸的磨刀板。

         各主軸上的刀片可使用專(zhuān)用磨刀板進(jìn)行修磨。


      2. 可搭載Air micron單元

         非接觸式測量膠帶的厚度和工件的厚度。

         精確控制加工高度,實(shí)現高精度切割。

      3. 高精度控制加工高度

         加工中X/Y/Z軸同時(shí)控制,可對工件高度的起伏進(jìn)行追蹤,實(shí)現高精度加工。



    技術(shù)參數

    項目

    規格

    項目

    規格

    工作尺寸

    Φ305mm  12inch(可選規格)

    θ軸

    旋轉范圍

    380°

    兼容支架

    12inch(SEMI G74-0699)

    其它

    電壓

    三相AC200 ~ 220v ±10%

    主軸

    轉速

    60000r/min

    電力消耗

    6.0kVAMax

    80000r/min(可選)

    壓縮空氣

    0.55MPa~0.70MPa

    刀片尺寸

    Φ60mm(2inch)

    平均空氣消耗量

    210L/min0.55MPa

    Φ80mm(3inch)(可選)

    平均潔凈空氣消耗量

    140L/min

    額定輸出

    1.8KW

    切割水及其它壓力范圍

    0.3MPa~0.5MPa

    X

    切割范圍

    310mm

    切割水及其它流量

    切割水:10.0L/min

    速度

    1000mm/s

    水幕:3.0L/min

    Y1/Y2

    切割范圍

    310mm

    其它:0.6L/min

    速度

    300mm/s

    冷卻水壓力

    0.3MPa~0.5MPa

    分辨率

    0.078μm

    冷卻水流量

    3.4L/min0.3MPa

    精度

    0.002mm/310mm

    排氣

    5.0m3/min以上

    Z1/Z2

    行程

    35mm

    設備尺寸

    1290mmx1530mmx1900mm

    分辨率

    0.002μm

    設備重量

    1360kg

    速度

    80mm/sec

     

     

     

    重復精度

    0.001mm

     

     



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