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    高剛性研磨機--HRG3002

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    高剛性研磨機--HRG300

    詳細介紹

    高剛性研磨機--HRG300


    HRG300 既可以對大尺寸晶圓(300 mm)進(jìn)行單枚加工,也可以對小直徑工件進(jìn)行多枚同時(shí)加工。

     

    特點(diǎn)

         ■ 高剛性

         ■ 高加工效率

         ■ 低消耗

         ■ 搭載多枚同時(shí)加工的 IPG 功能

         ■ 加工時(shí)的磨輪修正單元(選配)

     

    可研磨材料:難加工的硬脆材料,比如藍寶石,碳化硅,氮化鎵和氮化鋁

    可加工尺寸:直徑2-12英寸

    可加工厚度:20mm(包含基座)

     

    ●規格參數

     

    類(lèi)別

    HRG300

    高剛性研磨機

    設備尺寸和重量

    尺寸:1540(W)×1880(D)×2010(H) mm

    重量:3700 kg

    加工直徑(mm)

    300

    磨輪直徑(mm)

    300

    磨輪轉速(rpm)

    3600

    工作臺轉速(rpm)

    400

    主軸功率(KW)

    11

    工作臺功率(KW)

    2

    全自動(dòng)監測

    實(shí)時(shí)測量治具(支持多片同時(shí)加工)

    研磨精度(μm)

    0.1

    不間斷修磨

    選配

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