重慶德茲儀器有限公司
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更新時(shí)間：2023-12-14 16:55:48瀏覽次數：182次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)產(chǎn)品簡(jiǎn)介】薄膜厚度測量?jì)x利用分光干涉原理精確測量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度，測量分辨率達到納米量級
產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
薄膜厚度測量儀利用分光干涉原理精確測量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度，測量分辨率達到納米量級。該儀器具有測量迅速、操作簡(jiǎn)單、測量結果穩定（高再現性）、用戶(hù)使用界面易于操作等特點(diǎn)，是目前市場(chǎng)上性?xún)r(jià)比優(yōu)良的膜厚測量?jì)x之一，可廣泛應用于半導體、醫療和工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的薄膜厚度測量。該膜厚儀使用紫外到近紅外區域光源，測量范圍1nm到500μm，可以測量的膜厚材料包括氧化物、氮化物和保護膜層等常用薄膜材料。
【測量原理】
白色照明光源垂直照射到待測薄膜，一部分光經(jīng)過(guò)薄膜上表面的反射，返回到分光儀。另一部分透過(guò)薄膜上表面，經(jīng)過(guò)薄膜與底層之間的界面反射，返回到分光儀（圖1）。這兩束光在分光儀的光電轉換器表面重合，形成分光干涉條紋。根據分光干涉條紋的周期和薄膜厚度的關(guān)系，利用傅立葉變換方法，解析薄膜的厚度（圖2和圖3）。在薄膜厚度解析過(guò)程，利用不同類(lèi)型材料的相應參數修訂解析模型，從而進(jìn)一步提高不同類(lèi)型材料膜厚測量的準確性。
產(chǎn)品特點(diǎn)】
l UV/VIS/NIR高分辨率的配置
l 測量準確度達到1nm重復性為0.1nm
l 可以測量多層薄膜的厚度
l 測量范圍*小至1nm*大至500µm
l 提供多種實(shí)驗臺及附件用于復雜外形材料的測量
l 對表面缺陷和粗糙度不敏感
l 龐大的材料數據庫保證各種材料的精確測量
l 自動(dòng)調節照明光源強度
l 高速、高精度測量，*高測量頻率達到300Hz
l 重量輕、體積小，攜帶方便、安裝簡(jiǎn)單，易于安裝在生產(chǎn)線(xiàn)上
l 分光干涉測量模式，無(wú)任何移動(dòng)部件，可長(cháng)時(shí)間穩定工作
l 非接觸光學(xué)無(wú)損測量，測量過(guò)程不會(huì )對樣品造成破壞
l 提供*佳解析模型，消除不同材料對測量結果的影響
【使用特點(diǎn)】
快速：每次測量只需點(diǎn)擊鼠標，測量結果立即呈現在屏幕上，不到一秒鐘。應用于在線(xiàn)模式下，可在接受到采樣信號后，立即測量
準確：準確度1nm重復性0.1nm，準確度優(yōu)于1%，有多種材料組成的龐大的材料庫，準確分析被測的薄膜。儀器為光學(xué)測量系統，無(wú)任何移動(dòng)部件，不會(huì )由于多次測量產(chǎn)生回程等機械運動(dòng)誤差，可長(cháng)時(shí)間穩定工作
無(wú)損：非接觸光學(xué)無(wú)損測量，無(wú)須破壞樣品或對樣品做特殊處理
靈活：重量約為3kg，體積250*280*100mm，USB2.0/RS232/LAN多種接口連接方式，攜帶方便、安裝簡(jiǎn)單，可任意放置于實(shí)驗室、生產(chǎn)線(xiàn)甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件，可適應如非平面測量、顯微測量等特殊需求
方便：儀器集成自動(dòng)調光模塊，根據系統捕捉到的光譜數據自動(dòng)調整光源的輸出功率，避免光超過(guò)光譜儀的高敏感度線(xiàn)陣探測器能探測的極限，不會(huì )出現圖像的飽和
易用：軟件界面直觀(guān)、中文顯示、操作簡(jiǎn)單、用戶(hù)體驗出色。無(wú)需專(zhuān)業(yè)知識以及復雜的技術(shù)培訓，預先設置好測試參數后，每次重復調用即可
性?xún)r(jià)比高：相對于傳統膜厚測量設備，儀器擁有非常高的性?xún)r(jià)比
產(chǎn)品型號 | DZFGM-T10 | |||
產(chǎn)品編號 | UV-VIS | VIS | UV-VIS-NIR | VIS-NIR |
測量類(lèi)型 | 薄膜型 | 常規型 | 通用型 | 厚膜型 |
波長(cháng)范圍 | 180-850nm | 340-850nm | 180-1100nm | 900-1700nm |
測量厚度 | 1nm-10µm | 10µm-90µm | 1µm-300µm | 10µm-500µm |
使用光源 | 氘燈和鹵鎢燈 | 鹵鎢燈或LED | 氘燈和鹵鎢燈 | 鹵鎢燈或LED |
分辨率 | ±0.01%或者0.01nm（兩者取較大值） | |||
準確度 | ±1%或者1nm（兩者取較大值） | |||
重復性 | ±0.1%或者0.1nm（兩者取較大值） | |||
測量模式 | 反射法 | |||
入射角 | 70°或90° | |||
測試材料 | 透明或半透明的薄膜材料 | |||
測量層數 | 標配為1層（多層可選） | |||
測量時(shí)間 | 100ms/Point，頻率*大為300HZ | |||
工作距離 | 10mm（物鏡前端至樣品表面距離） | |||
測量視野 | 25µm-1mm（和使用的顯微物鏡有關(guān)） | |||
在線(xiàn)測量 | 可以，可多通道測量 | |||
解析算法 | FFT算法、特征曲線(xiàn)擬合算法，的解析算法增大測量范圍 | |||
數據通信接口 | USB2.0/USB3.0/RS232/LAN | |||
配置電腦 | 主流配置便攜式電腦 | |||
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