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    Park NX15原子力顯微鏡

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    更新時(shí)間:2025-01-13 08:53:11瀏覽次數:40次

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    經(jīng)營(yíng)模式:其他

    商鋪產(chǎn)品:117條

    所在地區:

    聯(lián)系人:李先生

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    簡(jiǎn)要描述:Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

    詳細介紹

    Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

    便捷的樣品測量(包含多樣品掃描)

     一次可對多個(gè)樣品自動(dòng)成像

     設計的多樣本卡盤(pán),一次至多可裝載9個(gè)單獨樣品(可選)

     全電動(dòng)XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm

    通過(guò)消除掃描器串擾進(jìn)行精準的XY掃描

     獨立閉環(huán)XY和Z柔性?huà)呙杵?/span>

     正交XY掃描

     無(wú)需軟件處理即可保留真實(shí)可信的樣品表面形貌信息

    真正非接觸模式實(shí)現探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護

     快速的Z伺服速度,實(shí)現真正的非接觸模式

     針尖磨損微小化,可實(shí)現長(cháng)時(shí)間的高質(zhì)量和高分辨率成像

    多種模式和選項

     全面性的測量模式和表征方法

     可實(shí)現可選配件和升級擴展功能

     用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測量

    Park NX15原子力顯微鏡 參數

    掃描器

    Z掃描器

    柔性引導高推動(dòng)力掃描器

    Z掃描范圍:15μm(30 μm可選)

    XY掃描器

    閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

    掃描范圍:100μmx 100μm

    光學(xué)

    帶視覺(jué)相機的同軸光學(xué)系統

    物鏡:10x放大

    視場(chǎng):

    480 μm X 360 μm(默認 120 萬(wàn)像素視覺(jué)相機)

    840 μm X 630 μm( 默認 500 萬(wàn)像素視覺(jué)相機)

    電路系統

    信號處理

    ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

    DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

    樣品臺

    Z位移臺行程范圍:25.5 mm

    XY位移臺行程范圍:150 mm X 150mm

    樣品大?。?/span>可滿(mǎn)足150 mm wafer 樣品




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