Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。
便捷的樣品測量(包含多樣品掃描)
一次可對多個(gè)樣品自動(dòng)成像
設計的多樣本卡盤(pán),一次至多可裝載9個(gè)單獨樣品(可選)
全電動(dòng)XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm
通過(guò)消除掃描器串擾進(jìn)行精準的XY掃描
獨立閉環(huán)XY和Z柔性?huà)呙杵?/span>
正交XY掃描
無(wú)需軟件處理即可保留真實(shí)可信的樣品表面形貌信息
真正非接觸模式實(shí)現探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護
快速的Z伺服速度,實(shí)現真正的非接觸模式
針尖磨損微小化,可實(shí)現長(cháng)時(shí)間的高質(zhì)量和高分辨率成像
多種模式和選項
全面性的測量模式和表征方法
可實(shí)現可選配件和升級擴展功能
用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測量
Park NX15原子力顯微鏡 參數
掃描器
Z掃描器
柔性引導高推動(dòng)力掃描器
Z掃描范圍:15μm(30 μm可選)
XY掃描器
閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器
掃描范圍:100μmx 100μm
光學(xué)
帶視覺(jué)相機的同軸光學(xué)系統
物鏡:10x放大
視場(chǎng):
480 μm X 360 μm(默認 120 萬(wàn)像素視覺(jué)相機)
840 μm X 630 μm( 默認 500 萬(wàn)像素視覺(jué)相機)
電路系統
信號處理
ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC
DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC
樣品臺
Z位移臺行程范圍:25.5 mm
XY位移臺行程范圍:150 mm X 150mm
樣品大?。?/span>可滿(mǎn)足150 mm wafer 樣品