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    FIB聚焦離子束系統

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    設備介紹蔡司雙束電鏡Crossbeam系列，是專(zhuān)為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡

    詳細介紹

    設備介紹

    蔡司雙束電鏡Crossbeam系列，是專(zhuān)為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡。Crossbeam系列將場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)出色的加工能力相結合。

    儀器型號

    卡爾蔡司Crossbeam350

    技術(shù)參數

    • 電子束流5pA100nA
    • 分辨率3nm@30KV
    • 檢測器lens Se、 Inlens esB、可變氣壓二次電子探測器VPSE、二次電子二次離子探測器SESI、掃描透射電子探測器STEM、背散射探測器BSD
    • 能譜牛津ULTIM MAX

    案例展示

    應用范圍

    1，生命科學(xué)，如斷層掃描，三維重構
    2，電池領(lǐng)域，如原子層組分表征
    3，半導體領(lǐng)域，如失效分析，電路修復
    4，金屬領(lǐng)域，如界面分析，亞表面分析
    5，材料科學(xué)，如晶體微觀(guān)結構分析，納米圖形化加工
    6，透射電鏡、EBSD、微觀(guān)力學(xué)等多種樣品的原位制備
    7，微納加工。

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