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    奧譜天成(廈門(mén))光電有限公司/奧譜天成(廈門(mén))科技有限公司


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    SM230_自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度掃描測繪儀

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    綜合概述SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自動(dòng)薄膜厚度測繪儀

    詳細介紹

    綜合概述

    SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自動(dòng)薄膜厚度測繪儀。 它利用波長(cháng)范圍最寬為200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面,只要薄膜有一定程度的透射,SM230就能根據反射回來(lái)的干涉光譜擬合計算出薄膜的厚度,以及其他光學(xué)常數如反射率、折射率和消光系數等,其厚度測繪范圍可以達到5nm~250um。

    SM230自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測繪儀由測繪主機、測繪平臺、Y光纖及上位機軟件搭建而成,核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度的旋轉平臺,結合奧譜天成的算法技術(shù),為用戶(hù)提供的全新一代的自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測繪儀。

     

    產(chǎn)品特征

    非接觸式、非破壞性的測試系統;

    超長(cháng)壽命光源,更高的發(fā)光效率;

    高分辨率、高靈敏度光譜儀,測繪結果更準確可靠;

    軟件界面直觀(guān),操作方便省時(shí);

    測繪速度快,支持多點(diǎn)測繪點(diǎn)位地圖繪制;

    支持繪制樣品2D/3D厚度分布圖;

    高精度、長(cháng)壽命的3軸旋轉平臺;

    歷史數據存儲,幫助用戶(hù)更好掌握結果;

    桌面式分布設計,適用場(chǎng)景豐富;

    維護成本低,保養方便;

     

    應用領(lǐng)域

    基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測繪,這幾乎包含了所有的電介質(zhì)和半導體材料,包括:

    氧化硅、氮化層、類(lèi)鉆薄膜、多晶硅、光刻膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。

     

    半導體鍍膜:光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;

    液晶顯示:間隙厚度、聚酰亞胺、ITO透明導電膜;

    光學(xué)鍍膜:硬涂層、抗反射層;

    微電子系統:光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板;

    生物醫學(xué):醫療設備、Parylene

     

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