上海道勤檢測儀器有限公司
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光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。
1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預先設置好配置參數再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實(shí)現批量測量功能。
2) 測量中提供自動(dòng)多區域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線(xiàn)粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線(xiàn)度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
6) 分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能，可實(shí)現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應用范例：
| 半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC | |
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| 3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差 | |
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| 超精密加工.光學(xué)透鏡 | 精密加工.發(fā)動(dòng)機葉片 |
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| 精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 標準樣塊.單刻線(xiàn)臺階、多刻線(xiàn)粗糙度 |
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1、 高精度、高重復性
1） 采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；
2） 的隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用，獲得的測量重復性；
2、 一體化操作的測量分析軟件
1） 測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；
2） 可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；
3） 結合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程；
4） 幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5） 一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；
6） 可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
3、 精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、 雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。
附錄1.依據 ISO/ASME/EUR/GBT等國內外標準計算的2D，3D參數表：
2D參數表
| 標準名 | 參數 | |||
| ISO 4287-1997 |
| 主剖面 | 粗糙度 | 波紋度 |
| 振幅參數 | Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku | Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku | Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku | |
| 間距參數 | PSm,Pdq | RSm,Rdq | WSm,Wdq | |
| 物料比參數 | Pmr,Pdc | Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) | Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
| 峰值參數 | PPc | RPc | WPc | |
| ISO 13565 | ISO 13565-2 | Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk | ||
| ISO 12085 | 粗糙度圖形參數 | R,AR,R× ,Nr | ||
| 波紋度圖形參數 | W,AW,W×,Wte | |||
| 其他圖形參數 | Rke,Rpke,Rvke | |||
| AMSE B46.1 | 2D參數 | Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt | ||
| DIN EN ISO 4287-2010 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
| 粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |||
| 波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
| JIS B0601-2013 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
| 粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
| 波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
| GBT 3505-2009 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
| 粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
| 波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
3D參數表
| 標準名 | 參數 | |
| ISO 25178 | 高度參數 | Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa |
| 函數參數 | Smr,Smc,S×p | |
| 空間參數 | Sal,Str,Std | |
| 復合參數 | Sdq,Sdr | |
| 體積參數 | Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv | |
| 形態(tài)參數 | Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv | |
| 功能參數 | Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq | |
| ISO 12781 | 平面度參數 | FLTt,FLTp,FLTv,FLTq |
| EUR 15178N | 振幅參數 | Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St |
| 空間參數 | Str,Std,Sal | |
| 復合參數 | Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd | |
| 面積體積參數 | Smr,Sdc | |
| 函數參數 | Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq | |
| 功能性指標參數 | Sbi,Sci,Svi | |
| EUR 16145 EN | 振幅參數 | Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku |
| 混合參數 | Ssc，Sdq，Sdr | |
| 功能性指標 | Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk | |
| 空間參數 | Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi | |
| 硬度參數 | Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp | |
| ASME B46.1 | 3D參數 | St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
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