蘇州震拓自動(dòng)化設備有限公司
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蘇州震拓自動(dòng)化設備有限公司
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產(chǎn)品型號pfeiffer普發(fā)
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間：2023-05-09 14:46:34瀏覽次數：347次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)類(lèi)型：無(wú)菌室監控系統品牌：pfeiffer普發(fā)型號：APA 302描述：普發(fā)污染管理解決方案
Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監控系統、環(huán)境
應用:
用于無(wú)菌室, 環(huán)境
在潔凈室環(huán)境下，APA 302 是用于芯片制造的在線(xiàn)監測工具。這臺革新性設備可以測量 FOUP 和周?chē)h(huán)境中的空氣分子污染物（簡(jiǎn)稱(chēng) AMC）。該測量實(shí)時(shí)發(fā)生，在 ppbv 范圍內具有很高的靈敏度。
有效的污染監測
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時(shí)間內，在 FOUP 槽對槽的空間里被釋放出來(lái)。而這些元素會(huì )在圖樣晶圓上生成晶體生長(cháng)，從而導致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過(guò) FOUP 過(guò)濾器來(lái)對 AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內，通過(guò)離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測、熒光紫外線(xiàn)或光腔衰蕩光譜技術(shù)，測量在 2 分鐘內發(fā)生，具有高靈敏度。而當負載端口上沒(méi)有 FOUP 時(shí)，APA 302 會(huì )監控周?chē)臐崈羰噎h(huán)境。
FOUP 環(huán)境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動(dòng)校準功能，它會(huì )在定期的時(shí)間間隔內被激活。對于在 APA 中對 AMC 的監控，可在有晶圓或無(wú)晶圓的 POD 中執行。FOUP 可以手動(dòng)傳送，也可通過(guò) 2 個(gè)負載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來(lái)傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時(shí)間，污染的增加量能立刻被察覺(jué)到，且產(chǎn)量增加。
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