青島森納瑞精密儀器有限公司
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更新時(shí)間:2023-04-17 19:53:24瀏覽次數:322次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或整塊平板顯示器,不會(huì )對樣品造成破壞。 借助高達 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測多種樣品
介紹:
檢測大尺寸樣品 – 擁有自動(dòng)聚焦系統且滿(mǎn)足超凈室等級要求
分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會(huì )對樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過(guò) DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿(mǎn)足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調整至更佳聚焦位置。
特點(diǎn):
● 兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機柱(配有符合工業(yè)標準的三個(gè)模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和 254mm 垂直深度的優(yōu)勢。
● Axio Imager Vario 能通過(guò)物鏡轉盤(pán)的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品。這就意味著(zhù),即便是較重的樣品,也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。
● 借助自動(dòng)聚焦硬件,您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
● Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應用,以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品。
● Axio Imager Vario 已通過(guò) DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿(mǎn)足潔超凈室等級 5 的要求。
超凈室:
半導體制造與晶圓檢測需要在超凈室內完成。根據 DIN EN ISO 14644-1 標準,以每立方米的顆粒數量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應用中,Axio Imager Vario 已通過(guò)此標準認證,并滿(mǎn)足超凈室等級 5 的要求。超凈室ISO 5 等級相當于原 FED STD 209E(1992)標準的 100 級。超凈室套件中包含一個(gè) 7 孔物鏡轉盤(pán)、一個(gè)顆粒保護罩及一個(gè)防噴嚏保護罩。
自動(dòng)聚焦硬件:
集成有 Auto Focus 自動(dòng)聚焦硬件系統的 Axio Imager Vario 能夠在高達12000 µm 的焦點(diǎn)捕獲范圍內實(shí)現快速精準的聚焦。在工業(yè)生產(chǎn)和研究的檢測應用中,您需要一套聚焦精度能達到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統。該自動(dòng)聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉相差及斜照明觀(guān)察方式的應用。
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