在以納米技術(shù)和生物技術(shù)為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域里，從物質(zhì)的微細結構到組成成分，SEM在多種多樣的觀(guān)察與分析中得到了靈活應用。SEM用途日益擴大，但對于鋼鐵等工業(yè)材料和汽車(chē)零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺能對應的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀(guān)察時(shí)需要進(jìn)行切割等加工。因此，對超大樣品不施以加工處理，便可直接觀(guān)察表面微細形貌和進(jìn)行各種分析則成為重要的課題。
近年來(lái)為了實(shí)現各種材料的高功能化和高性能化，需要觀(guān)察并優(yōu)化材料的微細結構。目前SEM的應用除了以往的研究開(kāi)發(fā)以外，已擴展到質(zhì)量和生產(chǎn)管理方面，使用頻率日益高漲。同時(shí)市場(chǎng)也對儀器的操作性能提出了更高的要求，以進(jìn)一步減輕操作人員的負擔。
此次發(fā)售的“SU3800"與“SU3900"，支持超大/超重樣品的觀(guān)察，特別是大型掃描電鏡“SU3900"，可選配直徑300mm *1、承重5kg樣品(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品臺，即使是超大樣品也無(wú)需切割加工即可觀(guān)察。
同時(shí)操作性能也得到了全面升級。樣品安裝完成后，通過(guò)自動(dòng)光路調整及各種自動(dòng)功能調整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實(shí)現了快速觀(guān)察。
前代機型是僅僅通過(guò)CCD導航相機的單一彩色圖像尋找視野*3。新機型則通過(guò)旋轉樣品臺，分別拍攝樣品各個(gè)部分，再將各個(gè)圖像拼接成1張大圖像，實(shí)現了大視野的相機導航觀(guān)察，十分適用于超大樣品的大范圍觀(guān)察。
【主要特點(diǎn)】
(1) 支持超大/超重樣品測試
可搭載的樣品尺寸：“SU3800" 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應對高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900"作為日立的大型掃描電鏡，標配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應對高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品
(2) 支持大視野觀(guān)察
■“SU3800"與“SU3900"的觀(guān)察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm
■安裝有“SEM MAP"導航功能，只需在導航畫(huà)面上觀(guān)察目標位置，即可移動(dòng)視野
■安裝有“Multi Zigzag"系統，可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像
(3) 通過(guò)自動(dòng)化功能提高操作性能
■通過(guò)自動(dòng)光路調整和各種自動(dòng)化功能，樣品設置完后立即可以開(kāi)始觀(guān)察。關(guān)于圖像調整，自動(dòng)功能執行時(shí)的等待時(shí)間比前代機型*4縮短了三分之一以下
■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)"軟件，自動(dòng)監控鎢燈絲*5的狀況，顯示預計的更換時(shí)期。在長(cháng)時(shí)間的連續觀(guān)察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長(cháng)時(shí)間測試過(guò)程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀(guān)察。
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