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    NSC-3000 (A) 全自動(dòng)磁控濺射系統

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    更新時(shí)間：2024-02-19 17:54:17瀏覽次數：148次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，到6旋轉平臺，可支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。

    詳細介紹

    NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，到6"旋轉平臺，可支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過(guò)調整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-3000（A）帶有14"立方形鋁質(zhì)腔體，3個(gè)2"的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，260 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。

    NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統產(chǎn)品特點(diǎn)：

    • 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃

    • 70或250l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵

    • 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

    • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

    • 帶觀(guān)察視窗的腔門(mén)易于上下載片

    • 基于LabView軟件的PC計算機控制

    • 帶密碼保護功能的多級訪(fǎng)問(wèn)控制

    • 的安全聯(lián)鎖功能

    • 預真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片

    NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統選配項：

    • 不銹鋼腔體

    • RF、DC濺射

    • RF或DC偏壓（1000V）

    • 樣品臺可加熱到700°C

    • 膜厚監測儀

    • 基片的RF射頻等離子清洗

    NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統應用：

    • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆

    • 光學(xué)以及ITO涂覆

    • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

    • 帶RF射頻等離子放電的反應濺射



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