美國Four Dimensions,Inc, 簡(jiǎn)稱(chēng)“4D",成立于1978年,位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專(zhuān)注于四探針設備和CV儀的生產(chǎn)和銷(xiāo)售,累計銷(xiāo)量達800臺以上,遍布世界各大半導體Fab, 太陽(yáng)能光伏企業(yè),大學(xué)及科研機構。
美國Four Dimensions,Inc, 簡(jiǎn)稱(chēng)“4D”,成立于1978年,位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專(zhuān)注于四探針設備和CV儀的生產(chǎn)和銷(xiāo)售,累計銷(xiāo)量達800臺以上,遍布世界各大半導體Fab, 太陽(yáng)能光伏企業(yè),大學(xué)及科研機構。
美國4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設備:280SI (4D品牌中最普及的型號)
方形片:大至156mm X 156mm;
可往下擴展至:0.0001歐姆/平方,往上擴展至8e9或8e11歐姆/平方。相對應的電阻率,薄膜厚度根據不同材料不同應用而不同,但都是以方塊電阻作為基礎設備自動(dòng)計算得出,注意這是選項價(jià)格要高不少,建議客戶(hù)按實(shí)際需求選擇購買(mǎi)。
測量方式: 電腦程序自動(dòng)測量,或不連電腦單測量主機也可實(shí)現測量和數據顯示,此時(shí)非常適合測試不規整樣片單點(diǎn)測量,適合實(shí)際研究需要。
測量的數據: 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度,根據具體應用可以設置不同測量程序。
測量的點(diǎn)數: 程序編排任意測量點(diǎn)位置及測量點(diǎn)數量,對應不同客戶(hù)不同測量要求任意編程測量點(diǎn)位置與數量。
測量的精確度:<0.1% (標準模阻);
測量重復性:<0.2% (特定片子);
測量速度:>45點(diǎn)/分鐘;
測量數據處理:根據需要顯示2D,3D數值圖,或按要求統計并輸出Excel格式文件;
邊緣修正:具有邊緣修正功能,即片子邊緣3mm以?xún)葏^域都能測量;
探針材料:鎢鋼與硅片的接觸電阻最小,且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍寶石材料,以確保長(cháng)時(shí)間使用后間距的一致性;
探針壓力可調范圍:90-200克之間可調;
可供選擇的探頭類(lèi)型:根據測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇,另外還可提供專(zhuān)門(mén)為客戶(hù)定制的應用特殊要求的探針,比如測試薄至30A的薄膜時(shí)需要使用MR型探頭,這是四探針設備供應商少有能做到的。
設備應用:
IC FAB/FP dispaly/LED:擴散,離子注入等摻雜工藝監控調試,薄膜電阻率或厚度測量等工序,如Intel,IBM,Motorola,TSMC,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...
材料類(lèi)研究:杜邦(中國),電力,中科院,山東,清華大學(xué),北京大學(xué),復旦大學(xué),華師大,電子科大,國家標準化所,質(zhì)檢所,光伏科學(xué)與技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室,Applied Materials, Materials Research...
新能源:尚德,晶澳,英利,阿特斯,天合,LDK,海潤,騰暉,鑫輝,東磁,向日葵,奧特斯維,尖山,晶科,力諾,韓華,神舟,光為,艾力克,吉陽(yáng),東營(yíng),中盛,First solar,Solar world...
4D公司所提供的探針質(zhì)保次數是25萬(wàn)次,而實(shí)際從客戶(hù)反饋的信息是壽命達到100萬(wàn)次以上,甚至150萬(wàn)次以上。同時(shí)4D還為客戶(hù)提供探頭的探針更換服務(wù),大大降低客戶(hù)的使用成本。