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    深圳市科時(shí)達電子科技有限公司


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    勻膠機 BASIXX ST20+

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    聯(lián)系人：林經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    BASIXX ST20+（?200毫米）臺式旋涂機，帶電動(dòng)介質(zhì)臂BASIXX ST20（?200毫米）臺式旋涂機BASIXX ST20+ 實(shí)驗室臺式勻膠機是一款緊湊的旋涂，顯影，清潔和干燥半自動(dòng)系統，旨在為科學(xué)和研究領(lǐng)域的用戶(hù)提供高效，安全和清潔的實(shí)驗室系統。

    詳細介紹

    BASIXX ST20+（?200毫米）臺式旋涂機，帶電動(dòng)介質(zhì)臂

    BASIXX ST20（?200毫米）臺式旋涂機

    BASIXX ST20+  實(shí)驗室臺式勻膠機


    是一款緊湊的旋涂，顯影，清潔和干燥半自動(dòng)系統，旨在為科學(xué)和研究領(lǐng)域的用戶(hù)提供高效，安全和清潔的實(shí)驗室系統。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理，例如編寫(xiě)，編輯，保存和加載。 服務(wù)區提供用于手臂和旋轉板以及介質(zhì)控制的設置選項。 還集成了可通過(guò)USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。

    特點(diǎn)：

    ÷ 直驅無(wú)刷微調電機

    ÷ 全軸電機驅動(dòng)且可編程

    ÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制

    ÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

    ÷ 旋轉器蓋傳感器控制

    ÷ 通過(guò)觸摸屏或按鈕啟動(dòng)程序

    ÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼

    ÷ 外殼上的電源開(kāi)關(guān)ON / OFF

    ÷ 配備標準的水坑噴嘴，通過(guò)水坑噴嘴注入溶劑

    ÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔

    ÷ 可處理圓形晶片，尺寸為?200mm（?8英寸）

    ÷ 可處理方形基板，尺寸為150 x 150毫米（6 x 6英寸）

    ÷ 標配最多安裝3個(gè)介質(zhì)管線(xiàn)/噴嘴（可選：最多5個(gè)介質(zhì)管線(xiàn)/噴嘴）

    ÷ 可視真空控制儀

    ÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動(dòng)和系統運行來(lái)控制

    ÷ 含0.5 Itr的廢液瓶

    ÷ 可選的帶Z軸移動(dòng)和PR分配系統的電動(dòng)介質(zhì)臂

    ÷ 可作為臺式安裝，也可做獨立裝置使用

    ÷ 簡(jiǎn)單且經(jīng)濟高效

    ÷ 專(zhuān)為研究所，實(shí)驗室和基礎研發(fā)而設計

    應用于：旋涂，顯影，清潔和干燥

    產(chǎn)品參數：

    可處理襯底尺寸：直徑為?200mm（?8英寸）圓片，或為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；

    旋轉速度：10,000rpm *，（以rpm步長(cháng)為單位）；

    加速度：4.000 rpm / sec *；

    處理時(shí)間：1至999,9sec，以0.1秒為步；

    處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質(zhì)

    腔體：白色（PP）材質(zhì)

    固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤(pán)；

    電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz

    真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm

    排氣-過(guò)程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時(shí)

    氮氣（可選）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm

    CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。

    選配項：

    適用各種尺寸大小的托盤(pán)

    分配臂

    泵



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