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    M-SPIN 200 Spin Coater勻膠旋涂?jì)x

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    M-Spin 200勻膠旋涂?jì)x是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂?jì)x適用于直徑為8英寸的晶圓片，或為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動(dòng)工作，分配移動(dòng)托盤(pán)，可定義數量。該勻膠旋涂?jì)x配備了頂蓋的聯(lián)鎖機制，和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂?jì)x包含一個(gè)內置模塊，該模塊連接到柔性電纜，外接到一個(gè)19英寸外部控件上。

    詳細介紹

    M-Spin 200勻膠旋涂?jì)x是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂?jì)x適用于直徑為8英寸的晶圓片，或為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動(dòng)工作，分配移動(dòng)托盤(pán)，可定義數量。該勻膠旋涂?jì)x配備了頂蓋的聯(lián)鎖機制，和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂?jì)x包含一個(gè)內置模塊，該模塊連接到柔性電纜，外接到一個(gè)19英寸外部控件上。



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