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    行業(yè)產(chǎn)品

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    日本YAMATO等離子清洗機CV600

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    產(chǎn)品型號CV600

    品       牌

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    更新時(shí)間：2023-08-25 14:14:06瀏覽次數：217次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    日本YAMATO等離子清洗機CV600

    詳細介紹

    日本YAMATO等離子清洗機CV600：

    CV600

    Specifications

    Model CV600
    Plasmamode RIE ? DP
    Electrode Parallelflatstage plate
    RFgeneratorpower 100 - 600W
    Oscillating 13.56MHz
    Controlsystem Digitaldisplayａnd one touch control
    Chamber (W) 310 x (D)220x (H) 140mm
    Electrodestage (W) 230 x(D)140mm
    Chambermaterial SUS
    Reactiongas O2,Ar
    Purge gas N2 orDryair
    Flow meter Flow meter
    Vacuumpump Vacuumpump(120L/min)
    Gas system 2 line andpurgeline
    Externaldimensions (W) 480 x (D)500x(H) 1,065mm
    Powersupply(50/60Hz) AC200/220/380VThree phase 7A

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