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    北京卓立漢光儀器有限公司


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    DVIA精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

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    DVIA精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺具有非常優(yōu)秀的隔振性能， 10Hz達到90%以上的隔振效率，隔振性能優(yōu)異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ,半導體檢測設備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等

    詳細介紹

    詳細內容
    DVIA精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺特點(diǎn)：

    具有非常優(yōu)秀的隔振性能，特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率

    采用慣性傳感器，可以檢測出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補償

    采用真蜂窩三層夾心式結構臺面，厚度可選100/200/300mm

    進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

    隔振性能優(yōu)異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ,半導體檢測設備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等

    DVIA精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺技術(shù)指標:

    固有頻率：0.5-100Hz

    自動(dòng)平衡，響應時(shí)間短，平衡速度快

    鋼蜂巢內核：鋼制蜂窩芯，鋼板厚度0.25mm,每個(gè)蜂巢面積3.2cm²

    表面平整度：±0.1mm /600 mm²

    臺面：4.0mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼

    底面：4.0mm厚碳鋼，表面氧化處理

    邊墻板：2.0mm厚碳鋼，包裹高阻尼聚乙烯材料

    孔徑： M6 (英制螺孔可選)

    孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，*外邊孔距平臺邊緣37.5mm

    螺孔密封：每個(gè)螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封，方便清潔

    阻尼隔振方式：寬帶阻尼

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