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    行業(yè)產(chǎn)品

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    山東東南儀誠實(shí)驗室設備有限公司


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    日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000XS

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    使用等離子的表面處理裝置

    詳細介紹

    使用等離子的表面處理裝置。著(zhù)重于“使用簡(jiǎn)單”的臺式 
    高性能型號,調取數據簡(jiǎn)單,以電子材料為中心,可對應 
    多種用途。 
    ●可變更電極構造提高等離子效果。 
    ●搭載高精度適配器,高性能RF電源。 
    ●可根據需求規格提供定制。 
    特征 
    ●硅晶圓的灰化及蝕刻 
    ●基板表面污垢處理 
    ●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理 
    ●半導體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗 
    ●自然氧化膜·有機物去除 
    ●界面活性處理 
    ●表面污染物去除
    等離子模式 DP/RIE
    高頻電源 13.56MHz
    輸出功率 Max1000 & 1500W
    有效電極尺寸 W400×D375mm
    電極 平板(多目的)
    反應氣體 聚合控制器2系統(填充氣路另行安裝)
    真空泵(標配) 1000 & 1500L/min
    安全裝置 門(mén)檢測開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機構、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等


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