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    山東濟寧魯超超聲設備有限公司


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    濕法腐蝕清洗系統

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    主要特點(diǎn)：成熟的模塊化工藝組合可面向用戶(hù)工藝需要

    詳細介紹

    濕法腐蝕清洗系統(圖1)

     

     

    主要特點(diǎn)：

    成熟的模塊化工藝組合

    可面向用戶(hù)工藝需要，定制化設計

    已應用于20nm級別IC工藝線(xiàn)

    針對LED生產(chǎn)線(xiàn)，提高整體解決方案

    全自動(dòng)清洗/手動(dòng)清洗可選

    整機防漏液設計

    廣泛應用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導體材料等行業(yè)

    標準配置：

    高純進(jìn)口板材

    高結晶工藝管道

    高潔凈氣動(dòng)閥門(mén)

    防腐機械手

    伺服電機驅動(dòng)

    人機對話(huà)界面，觸摸屏操作

    標準工藝模塊

    SC-I溶液腐蝕槽

    SC-II溶液腐蝕槽

    SC-III溶液腐蝕槽

    QDR槽

    循環(huán)清洗槽

    超聲/兆聲清洗槽

    可選模塊：

    鼓氮

    水溶超聲/水浴兆聲槽

    槽內加熱/制冷循環(huán)

    漏液檢測

    水阻檢測

    自動(dòng)供液系統

    自動(dòng)配液系統

    自動(dòng)滅火系統（有機清洗）

    ESD功能（有機清洗）

    MES接口（可選）


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