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    Nova Nano 系列掃描電鏡

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿(mǎn)足研究實(shí)驗室、半導體和數據存儲實(shí)驗室和制造工廠(chǎng)、生物和生命科學(xué)實(shí)驗室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精確真實(shí)的納米尺度信息，**的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對大多數帶電或污染樣品進(jìn)行超高分辨率研究。這些均為 Nova™ NanoSEM 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征。

    詳細介紹

    Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿(mǎn)足研究實(shí)驗室、半導體和數據存儲實(shí)驗室和制造工廠(chǎng)、生物和生命科學(xué)實(shí)驗室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精確真實(shí)的納米尺度信息，**的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對大多數帶電或污染樣品進(jìn)行超高分辨率研究。這些均為 Nova™ NanoSEM 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征。

    Nova NanoSEM系列產(chǎn)品除*的光學(xué)（包括雙模*終透鏡）、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內探測和射束減速的強大組合功能之外，采用了**一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測器的全新套件，并具備多功能SE/BSE 過(guò)濾功能，****地優(yōu)化重要信息。智能掃描模式可用于****減少假像。樣品清潔對于低電壓高分辨率成像至關(guān)重要，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免于碳氫化合物污染）加以維護。NovaNanoSEM 450 配置了** 200 nA 射束電流和大型電動(dòng)傾斜樣品臺，分析能力因此也大幅提升。一切均不會(huì )影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

    Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可使用其****的低真空能力表征或分析更多樣品，包括大多數非導電或污染材料。由于 FEI Helix™ 探測器技術(shù)，低真空表征可一直擴展至超高分辨率。大小樣品均可輕易置入大型樣品室，并置于 Nova NanoSEM 高度精確且穩定的樣品臺上。此外，高清相機和相關(guān)導航裝置可幫助迅速發(fā)現興趣所在區域并移至相應區域。

    至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可提供***的整合工具**，包括 16 位板載數字圖案生成器和**制圖軟件、高速靜電射束熄滅裝置以及用于直接電子束寫(xiě)入式納米結構的氣體注射系統。Nova NanoSEM 650 樣品臺配置了壓電驅動(dòng)馬達，可在 150 x 150 mm 移動(dòng)范圍內實(shí)現更細致且更高的 XY 可重復性。

    性能特點(diǎn)

    場(chǎng)發(fā)射 SEM、超穩定高電流 Schottky 電子*
    *的光學(xué)和探測技術(shù)，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可實(shí)現**信息選擇和圖像優(yōu)化
    低至 50 V 的射束著(zhù)陸能量
    1.4 nm @ 1 kV、無(wú)射束減速
    **真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
    高達 200 nA 的高真空或低真空分析
    整合式 16 位掃描/制圖引擎
    超潔凈、無(wú)油滾動(dòng)和渦輪抽氣真空系統
    150 x 150 mm 高精密、高穩定壓電樣品臺 (Nova NanoSEM 650)

    應用領(lǐng)域

    實(shí)驗室、半導體和數據存儲實(shí)驗室和制造工廠(chǎng)、生物和生命科學(xué)實(shí)驗室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求。



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