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    行業(yè)產(chǎn)品

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    上海禹重實(shí)業(yè)有限公司


    Verios XHR SEM 掃描電鏡

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    更新時(shí)間：2023-11-28 16:03:46瀏覽次數：126次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    Verios 是 FEI **的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在**半導體制造和材料科學(xué)應用中，它可在 1 至 30 kV 范圍內提供亞納米量級分辨率以及增強的對比度，滿(mǎn)足材料精密測量所需，同時(shí)又不會(huì )削弱傳統掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。

    詳細介紹

    Verios 是 FEI **的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在**半導體制造和材料科學(xué)應用中，它可在 1 至 30 kV 范圍內提供亞納米量級分辨率以及增強的對比度，滿(mǎn)足材料精密測量所需，同時(shí)又不會(huì )削弱傳統掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。

    性能特點(diǎn)

    Verios 的生命科學(xué)應用

    觀(guān)測敏感的生物樣本時(shí)，過(guò)高的成像電壓帶來(lái)的電子束會(huì )損傷樣本，從而無(wú)法在細胞研究中觀(guān)測關(guān)鍵細節。Verios XHR 掃描電子顯微鏡 (SEM) **可在 1kV 的電子束電壓下工作，因而能**限度減少樣本干擾，同時(shí)又不會(huì )削弱分辨率和對比度。生物研究人員現在可以處理大量敏感的生物樣本，并迅速生成高分辨率圖像，從而洞察細胞器的關(guān)鍵功能和過(guò)程。
    Verios XHR SEM 優(yōu)勢

    全新的高對比度檢測器 對敏感的生物樣本進(jìn)行**成像
    電子束減速 在極低的電壓下提供高分辨率成像和高表面靈敏度
    電子束熄滅裝置 限制敏感的生物樣本的劑量
    靜電掃描 **限度減少圖像失真，并改善成像速度，從而進(jìn)一步提高工作效率和質(zhì)量
    Verios 的電子工業(yè)應用

    Verios XHR SEM 推出了全新的檢測器硬件，將 SEM 的觀(guān)測能力進(jìn)一步拓展至 20 nm 亞納米量級半導體器件。Verios 可提供**的低電壓 SEM 分辨率和材料對比度，能夠讓半導體工藝控制實(shí)驗室測量對電子束敏感的材料以及無(wú)法使用傳統 SEM 儀器成像的極小結構。 Verios 還包括一些易于使用的新功能，能夠為 22 nm 技術(shù)節點(diǎn)及以下的半導體結構提供**的每樣本成像和測量成本。
    Verios 的材料科學(xué)應用

    對材料科學(xué)家來(lái)說(shuō)，Verios 可以將亞納米表征拓展到當下正在開(kāi)發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結構），從而讓他們獲得重要的新發(fā)現。無(wú)需轉而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類(lèi)研究應用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類(lèi)的大樣本。您可以在高電流模式下執行快速分析，也可以開(kāi)展精確的原型設計應用，例如電子束感應式材料直接沉積或光刻。

    應用領(lǐng)域

    掃描電鏡**地應用于金屬材料（鋼鐵、冶金、有色、機械加工）和非金屬材料（化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維）等檢驗和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀(guān)形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀(guān)察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線(xiàn)掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。


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