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    上海禹重實(shí)業(yè)有限公司


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    PHI X-tool 全自動(dòng)掃描型微區探針

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    PHI X-tool是一款操作簡(jiǎn)單，同時(shí)具備高效高能的XPS。其秉承PHI-XPS的掃描聚焦X-ray系統，可通過(guò)單色化石英晶體叫X-ray直接聚焦至20μm。和傳統的XPS相比，不采用光闌進(jìn)行選區，極大的提高了XPS在200μm以下空間尺度的靈敏度。同時(shí)，不需要增加磁透鏡，即可得到**的靈敏度及**的信噪比，即使磁性樣品，也可輕松應對。

    詳細介紹

    PHI X-tool是一款操作簡(jiǎn)單，同時(shí)具備高效高能的XPS。其秉承PHI-XPS的掃描聚焦X-ray系統，可通過(guò)單色化石英晶體叫X-ray直接聚焦至20μm。和傳統的XPS相比，不采用光闌進(jìn)行選區，極大的提高了XPS在200μm以下空間尺度的靈敏度。同時(shí)，不需要增加磁透鏡，即可得到**的靈敏度及**的信噪比，即使磁性樣品，也可輕松應對。

    性能特點(diǎn)

    **的操作性

    PHI X-tool軟件支持直觀(guān)的觸摸屏操作，所有XPS測定過(guò)程都可在觸摸屏上完成。用戶(hù)可以自由選擇手動(dòng)操作模式和自動(dòng)操作模式（自動(dòng)定性、定量、分析及完成報告），操作者無(wú)論是否具有豐富的XPS操作經(jīng)驗，均能輕松應對。
    自動(dòng)參數設定、自動(dòng)完成報告

    PHI X-tool具備自動(dòng)對焦功能（Auto-Z），使分析位置處于X射線(xiàn)的焦平面上，得到**的分析條件。其可實(shí)現中和參數的自動(dòng)匹配，無(wú)論樣品的導電性如何，均可輕松應對。
    自動(dòng)定性：實(shí)現譜峰自動(dòng)識別
    自動(dòng)定量：自動(dòng)選定譜峰定量范圍
    自動(dòng)曲線(xiàn)擬合：可自動(dòng)實(shí)現預定條件的曲線(xiàn)擬合
    自動(dòng)生成實(shí)驗報告
    多方式樣品觀(guān)察

    在XPS分析中，樣品觀(guān)察，特別是微區定位至關(guān)重要。PHI X-tool可通過(guò)以下三種方式進(jìn)行樣品觀(guān)察：a. 進(jìn)樣室高空間分辨率圖像；b. 實(shí)時(shí)CCD成像；c. 二次電子像（SXI）。利用這幾種方法觀(guān)察樣品，不論樣品大小，表面形貌如何均可輕松確定測試位置。
    詳細的條件設定和直觀(guān)的操作

    結合材料和目的，可詳細設定分析的條件。通過(guò)內置元素周期表，可設定各光電子峰和俄歇峰。通過(guò)更改通過(guò)能、步長(cháng)、積分時(shí)間設定窄譜掃描參數。對每個(gè)樣品可設置習慣的文件名和樣品名稱(chēng)。
    快速化學(xué)成像

    采用掃描X射線(xiàn)和高靈敏度檢測器及非掃描模式，可實(shí)現快速成像分析。每個(gè)點(diǎn)都可以直接調取全部的譜數據?；瘜W(xué)態(tài)成像的空間分辨率、靈敏度、能量分辨率與儀器主指標一致。
    采用PHI的***硬件設計

    微聚焦掃描X-ray源；
    雙束中和系統，低能離子束及低能電子束自動(dòng)配合；
    浮動(dòng)離子*，離子加速電壓條件范圍可達0~5kV

    應用領(lǐng)域

    Micro-Electronics 微電子, 電子封裝
    Polymer 高份子材料
    Tribology 摩擦學(xué)
    Magnetic 磁性材料, 硬盤(pán), 藍光光盤(pán)
    Display Industries 顯示工業(yè)
    Graphene 石墨稀
    Catalysis 催化劑
    Energy related 能源產(chǎn)業(yè)
    Glass 玻璃
    Metal 金屬
    Ceramic 陶瓷
    Semi-conductors 半導體
    Bio-Medical 生醫科學(xué)


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