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    行業(yè)產(chǎn)品

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    上海禹重實(shí)業(yè)有限公司


    PHI 4700 AES俄歇分析儀

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    品       牌

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    更新時(shí)間：2023-11-28 16:36:51瀏覽次數：101次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    PHI 4700使用了AES分析技術(shù)為基礎，搭配靈敏度半球型能量分析器、10 kV LaB6掃瞄式電子*、5 kV浮動(dòng)柱狀式Ar離子*及高精密度自動(dòng)樣品座。針對例行性的俄歇縱深分析、微區域的故障分析，提供了全自動(dòng)與及高經(jīng)濟效益的解決方法。PHI 4700是建基于Ulvac-Phi公司的高性能PHI 700Xi俄歇掃描納米探針。它提供了高度自動(dòng)化，低成本、高效益的方案進(jìn)行例行俄歇深度分析和微米范圍的故障分析。 PHI 4700可以輕易的配備上互聯(lián)網(wǎng)的設備，以供遠程操作或監控之用。

    詳細介紹

    在開(kāi)發(fā)新材料及薄膜制程上，為了有助于了解材料組成間的相互作用及解決工藝流程的問(wèn)題，材料組成或薄膜迭層的深度分析是非常重要的。

    PHI 4700使用了AES分析技術(shù)為基礎，搭配靈敏度半球型能量分析器、10 kV LaB6掃瞄式電子*、5 kV浮動(dòng)柱狀式Ar離子*及高精密度自動(dòng)樣品座。針對例行性的俄歇縱深分析、微區域的故障分析，提供了全自動(dòng)與及高經(jīng)濟效益的解決方法。

    PHI 4700是建基于Ulvac-Phi公司的高性能PHI 700Xi俄歇掃描納米探針。它提供了高度自動(dòng)化，低成本、高效益的方案進(jìn)行例行俄歇深度分析和微米范圍的故障分析。 PHI 4700可以輕易的配備上互聯(lián)網(wǎng)的設備，以供遠程操作或監控之用。

    性能特點(diǎn)

    全自動(dòng)多樣品縱深分析：PHI 4700薄膜分析儀在微小區域之縱深分析擁有**的經(jīng)濟效益，可在SEM上特定微米等級之微小區域快速進(jìn)行深度分析。圖2顯示長(cháng)年使用的鍍金電極正常與變色兩個(gè)樣品之縱深分析結果，兩者材質(zhì)皆為鍍金之錫磷合金。從電極二（變色電極）可看到金屬錫擴散到鍍金膜上，因為界面的腐蝕而產(chǎn)生氧及錫導致電極變色。
    靈敏度半球型能量分析器：PHI 4700半球形能量分析器和高傳輸輸入透鏡可提供**的靈敏度和大幅縮短樣品分析時(shí)間。除此之外，具有全自動(dòng)的量測功能，此裝置可在短時(shí)間內測量多個(gè)樣品。 點(diǎn)選屏幕上軟件所顯示的樣品座，可以記錄欲量測的位置，對產(chǎn)品與工藝流程管理上之數據搜集可進(jìn)行個(gè)別分析。
    10 kV LaB6掃瞄式電子*：PHI的06-220電子*是基于一個(gè)以L(fǎng)aB6為電子源燈絲以提供穩定且長(cháng)壽命電子*的工具，主要在氬氣濺射薄膜時(shí)進(jìn)行深度分析。06-220電子*還可以：產(chǎn)生二次電子成像，俄歇測繪和多點(diǎn)分析。在加速電壓調節從0.2至10千伏。電子束的*小尺寸可保證小于80納米。
    浮動(dòng)柱狀式Ar離子*：PHI的FIG5B浮動(dòng)柱狀式Ar離子*:提供離子由5伏到5千伏。大電流高能量離子束被用于厚膜，低能量離子束（250-500 V）用于超薄膜。浮動(dòng)柱狀式，確保高蝕刻率與低加速電壓。物理彎曲柱會(huì )阻止高能量的中性原子，從而改善了濺射坑形狀和減少對鄰近地區的濺射。
    五軸電動(dòng)樣品臺和Zalar方位旋轉：PHI 15-680精密樣品臺提供5軸樣品傳送：X，Y，Z，旋轉和傾斜。所有軸都設有馬達及軟件控制，以方便就多個(gè)樣品進(jìn)行的自動(dòng)縱深分析。樣品臺提供Zalar（方位角）旋轉的縱深剖析，利用旋轉來(lái)降低樣品在一個(gè)固定位置上的擇優(yōu)濺射，以?xún)?yōu)化縱深分析。
    PHI SmartSoft用戶(hù)界面：PHI SmartSoft是一個(gè)被認同為方便用者使用的操作儀器軟件。軟件透過(guò)任務(wù)導向和卷標橫跨頂部的顯示指導用戶(hù)從輸入樣品，定義分析點(diǎn)，并設定分析。多個(gè)分析點(diǎn)的定義和*理想樣品的定位是由一個(gè)強大的“自動(dòng)Z軸定位"功能所提供。預存多樣的操作設定，可讓新手能夠快速，方便使用。
    可選用配備：

    熱/冷樣品座
    樣品真空傳送管（Sample Transfer vessel）

    應用領(lǐng)域

    半導體薄膜產(chǎn)業(yè)
    微電子封裝產(chǎn)業(yè)
    無(wú)機光電產(chǎn)業(yè)


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