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    上海森懋機械設備有限公司


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    INFICON 反磁控皮拉尼真空計

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    益處復合真空計–倒置磁控管與皮拉尼測量范圍廣

    詳細介紹

    益處

    • 復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
    • 測量范圍廣，從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
    • 不會(huì )出現單絲燒毀的現象
    • 的點(diǎn)火屬性
    • 易于清潔
    • FPM 或金屬密封饋入裝置
    • 高壓 LED 指示燈
    • 對數模擬輸出信號

    典型應用

    • 高真空壓力監控
    • 蒸發(fā)系統和濺射系統的基本壓力
    • 中高真空范圍內的一般真空測量和控制





      規格

      類(lèi)型

      MPG400 FPM sealed

      MPG401 metal-sealed

      測量范圍（空氣，N2）

      5 x 10-9 … 1000 

      5 x 10-9 … 1000 

      精度 (N2)

       

       

      1 x 10-8 … 100 毫巴

      % of reading

      ≈±30%

      ≈±30%

      可重復性

       

       

      1 x 10-8 … 100 毫巴

      % of reading

      ≈±5%

      ≈±5%

      安裝定位

      any

      any

      容許壓力

      bar (absolute)

      ≤10 (limited to inert gases)

      ≤10 (limited to inert gases)

      容許溫度

       

       

      運行（環(huán)境）

      °C

      +5 … +55

      +5 … +55

      貯存

      °C

      –40 … +65

      –40 … +65

      烘烤 (1)

      °C

      150

      150

      單絲溫度（皮拉尼）

      °C

      120

      120

      電源電壓

       

       

      真空計上

      V (dc)

      +15 … +30

      +15 … +30

      纜線(xiàn)更長(cháng)的電源裝置 (2)

      V (dc)

      +16 … +30

      +16 … +30

      波紋

      V (p-p)

      ≤1

      ≤1

      功耗

      W

      ≤2

      ≤2

      可連接的保險絲

      AT

      ≤1

      ≤1

      輸出信號（測量信號）

       

       

      電壓范圍

      V

      0 … +10.5

      0 … +10.5

      測量范圍

      V

      +1.82 … +8.6

      +1.82 … +8.6

      電壓與壓強

      logarithmic, 0.6 volts per decade

      logarithmic, 0.6 volts per decade

      錯誤信號

       

       

      無(wú)電源

      V

      <0.5

      <0.5

      皮拉尼傳感器，單絲斷裂

      V

      >9.5

      >9.5

      輸出電阻

      Ω

      2 x 10

      2 x 10

      更小負載電阻

      kΩ

      10, short-circuit proof

      10, short-circuit proof

      反應時(shí)間

       

       

      p > 10-6 毫巴

      ms

      <10

      <10

      p = 10-8 毫巴

      ms

      ≈1000

      ≈1000

      識別真空計

      85, referenced to supply common

      85, referenced to supply common

      狀態(tài)

       

       

      僅皮拉尼模式

      V

      0 (low)

      0 (low)

      復合皮拉尼 / 冷陰極模式

      V

      15 … 30 (high)

      15 … 30 (high)

      LED

      LED green

      high voltage on

      high voltage on

      電氣連接

      FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

      FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

      傳感器電纜

      8 poles plus shielding

      8 poles plus shielding

      電纜長(cháng)度

      m

      ≤50 (8 x 0.14 mm2)

      ≤50 (8 x 0.14 mm2)

      運行電壓

      kV

      ≤3.3

      ≤3.3

      運行電流

      μA

      ≤500

      ≤500

      暴露于真空的材料

      stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

      stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

      內部容積

      cm3

      ≈20

      ≈20

      重量

       

       

      DN 25 ISO-KF

      g

      ≈700

      ≈730

      DN 40 ISO-KF

      g

      ≈720

      ≈750

      DN 40 CF-F

      g

      ≈980

      ≈1010

      保護類(lèi)別

      IP 40

      IP 40

      標準

       

       

      CE 合規

      EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

      EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

      1) 沒(méi)有電子和磁遮蔽。

      2) 必須根據傳感器電纜的長(cháng)度按比例增加電源的**低電壓。


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