
1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
Harrick Plasma是國際的等離子清洗器生產(chǎn)商,在業(yè)內已經(jīng)有三十多年的經(jīng)驗。他所生產(chǎn)的小型等離子清洗器結構緊湊、質(zhì)量可靠、價(jià)格合理;廣泛地被大中院校、科研機構、企業(yè)研發(fā)機構和實(shí)驗室采用。其產(chǎn)品主要應用在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機械系統研究、光學(xué)、顯微術(shù)、牙科醫療等領(lǐng)域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學(xué)改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料,并對所處理的材料表面帶來(lái)表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質(zhì)改變、提高結合力等處理效果。
2. 主要特征:
1)臺式設計,結構緊湊精致
2)低、中、高三檔可調節功率,可為18W
3)設備輻射小,安全環(huán)保
3. 基本參數:
1)外形尺寸:8.5"H x 10"W x 8"D(215mm x 254mm x 203mm)
2)重量:6.0kg
3)輸入電源: 220 V/50Hz
4)輸入功率: 100 W
5)功率檔:
低檔680V DC、10mA DC、6.8W
中檔700V DC、15mA DC、10.5W
高檔720V DC、25mA DC、18W
4. 常用工作氣體:
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
5. 基本配置:
1)直徑3英寸,長(cháng)6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
2)可拆卸艙蓋。
3)為18W的RF線(xiàn)圈。
4)1/8英寸NPT針閥
5)1/8英寸NPT三通閥
6. 選配件:
1)石英等離子清洗艙
2)石英托盤(pán)(用于放置樣品)
3)氣體計量混合器Plasma FloTM
7. 周邊設備:
基本型專(zhuān)用真空泵(PDC-VPE-2)
8. 可選件:
選件一:氣體計量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡(jiǎn)介:
1)Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿(mǎn)足客戶(hù)的不同需求的備件。
2)可應用于樣品的表面改性。
3)在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和壓力監視。
4)為向艙內注入兩種氣體提供了可能。
5)含兩個(gè)標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
6)溫差電偶真空度表測量艙內壓力
7)適用氣體:空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
8)尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D
選件二:真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm),壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號:
1、PDC-VP-2 (220V)
1)抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2) 極限壓力(氣鎮關(guān)):1.5 mTorr
3)極限壓力(氣鎮開(kāi)):23 mTorr
4) 電機功率:(50/60 Hz): 250/300 W
5)重量: 34 lbs
6)尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V)
1) 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
2)極限壓力(氣鎮關(guān)): 7.5 mTorr
3)極限壓力(氣鎮開(kāi): 150 mTorr
4)電機功率(50/60 Hz): 373 W
5)重量: 27 lbs
6)尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"
選件三:石英等離子清洗艙及托盤(pán)