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    行業(yè)產(chǎn)品

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    杭州科瑞達實(shí)驗器材有限公司


    潔凈厭氧高溫氣氛爐

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    用途：光刻工藝后段，光刻膠固化

    詳細介紹

    用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

    ■ 特點(diǎn)：

    → 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。

    → 程序運轉功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

    → 快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

    → 配置了自動(dòng)門(mén)鎖、數字式壓力表、數字式流量計等。

    → 全不銹鋼材質(zhì)。

    → 在安全方面，配置了自動(dòng)過(guò)升防止、過(guò)升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過(guò)電流漏電保護斷路器等安全裝置。

    ■ 規格：

    型號

    C1-008

    溫度范圍

    室溫+30～360℃

    室溫+50～500℃

    溫度分布精度

    ±4.0℃（at 360℃）

    ±8.0℃（at 500℃）

    溫度上升時(shí)間

    60min（室溫→360℃）

    90min（室溫→500℃）

    溫度下降時(shí)間

    90min（360℃→50℃）

    120min（500℃→50℃）

    氧濃度

    20ppm以下

    氧濃度下降時(shí)間

    約45分鐘

    潔凈度

    100級

    裝備

    氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

    內尺寸

    W600×D600×H600mm

    電源

    3相 AC380V




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