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    BAG402 中真空至超高真空真空計

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    BAG402 中真空至超高真空真空計 INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402,測量范圍從 5×10-10mbar 至 2.7×10-2mbar(3.75×10-10Torr 至 5×10-2Torr)。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計套裝,在低成本、可重復的工藝過(guò)程中進(jìn)行基礎壓力測量。的雙絲極結構提供更優(yōu)異的精度、長(cháng)期穩定性和長(cháng)使用壽命。

    詳細介紹

    益處

    • 測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)
    • 出色的可重復性,在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內為 5%
    • 過(guò)壓檢測保護,防止燈絲燒毀
    • 兩根長(cháng)壽命氧化銥燈絲
    • 發(fā)射電流選擇,降低控制的繁瑣
    • 植入校準數據的傳感器元件可確保規管的高精準性,并且易于更換
    • 符合RoHS

    典型應用

    • 半導體工藝和傳送腔室的壓強測量
    • 工業(yè)鍍膜
    • 從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制

    規格

    類(lèi)型 BAG402
    測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
    精度  
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
    重復性  
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
    除氣 (1)  
    p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
    壓強, bar (absolute) 2
    溫度  
    操作 (環(huán)境) °C 0 … +50
    儲存 °C -20 … +70
    法蘭口的烘烤,不帶BPG402-S電子單元 °C 80
    供電電壓 +20 … +28
    輸出信號模擬 (4)  
    輸出信號 V 0 … +10
    測量范圍 log / lin V 0 … +9
    電壓 vs. 壓強 volts per decade 1
    錯誤信號 V > +10
    負載阻抗, 最小 k? 10
    第二模擬輸出 none
    設點(diǎn)繼電器  
    設定點(diǎn)數量 none
    范圍  
    繼電器觸點(diǎn)  
    滯后  
    觸點(diǎn)額定值  
    數字功能 degas and emission
    接口 (數字) (2) Diagnosis port
    發(fā)射控制 manual
    燈絲 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
    燈絲狀態(tài) / 繼電器 LED / relay
    電氣連接 D-Sub, 9-pin, male
    電纜長(cháng)度,值 m (ft.) 100 (330)
    暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
    內部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)
    重量 KF / CF g 450 / 710
    保護級別 IP30

    1)除氣期間準確性降低

    2)不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現場(chǎng)總線(xiàn)

    BAG402 中真空至超高真空真空計     

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