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    行業(yè)產(chǎn)品

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    深圳市順心科技有限公司


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    SEM Mill離子束切割拋光系統

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號1061

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地深圳市

    紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà):0571-88918531QQ:2568841715

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    更新時(shí)間:2023-11-18 13:21:04瀏覽次數:201次

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    經(jīng)營(yíng)模式:其他

    商鋪產(chǎn)品:140條

    所在地區:廣東深圳市

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    SEM Mill 作為采用技術(shù)制造的離子束切割 拋光系統,提供可靠、高性能的樣品制備能力,能夠在最短時(shí)間內解決各類(lèi)掃描電鏡制樣 困難材料的制樣問(wèn)題,同時(shí)具備緊湊、精確以 及高穩定性的優(yōu)點(diǎn)。

    詳細介紹

    技術(shù)簡(jiǎn)介

    離子拋光技術(shù)通常采用惰性氣體 氬,通過(guò)將氬氣離子化后,在電場(chǎng) 加速作用下轟擊到樣品表面,利用 動(dòng)量轉移的方式進(jìn)行可控速率條件下,物理濺射轟擊的方式對樣品表面進(jìn)行精細拋光處理,滿(mǎn)足掃描電 鏡/EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求子拋光技術(shù)通常采用惰性氣體 氬,通過(guò)將氬氣離子化后,在電場(chǎng) 加速作用下轟擊到樣品表面,利用動(dòng)量轉移的方式進(jìn)行可控速率條件 下,物理濺射轟擊的方式對樣品表 面進(jìn)行精細拋光處理,滿(mǎn)足掃描電鏡/EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求。

    image.png

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    ? 兩支獨立可調電磁聚焦離子槍 

    ? 同時(shí)具備高能量(快速拋光)和低能量(精細修復) 

    ? 超寬加速電壓范圍:100eV到10kV,不同加速電壓下, 離子束束斑均保持最細束斑狀態(tài) 

    ? 每支離子槍均配備對應法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測 

    ? 采用可調節10英寸觸屏控制系統,人機界面友好,操作 簡(jiǎn)潔 

    ? 配備橫截面切割裝載及定位工具 

    ? 配備磁編碼器,帶有樣品測厚功能,自動(dòng)匹配拋 光位置,保證的拋光質(zhì)量和效率 

    ? 拋光角度范圍:0°到 +10°連續可調 

    ? 具備原位實(shí)時(shí)觀(guān)察及記錄拋光過(guò)程功能 

    ? 樣品可360°連續旋轉或搖擺,離子束自動(dòng)避讓樣品夾 

    ? 可通過(guò)時(shí)間或溫度自動(dòng)停止 

    ? 可選液氮冷臺配置,去除熱效應對樣品的損傷 

    ? 可選真空或惰性氣體轉移裝置,隔絕樣品與水氧接觸

    技術(shù)規格
    Model 1061 SEM Mill 技術(shù)規格
    離子源

    兩支TrueFocus電磁聚焦離子源

    可變能量范圍100 eV到10 keV ,束

    密度可達10 mA/cm2 

    拋光角度 0° 到 +10?連續可調可 

    選擇單槍或雙槍工作模式 

    兩支離子槍能量可獨立調節 

    可選手動(dòng)或自動(dòng)馬達離子槍 

    離子束束斑大小300μm —5mm連續可調

    樣品臺

    樣品尺寸: 

    橫截面切割:Max 25x10x7mm

    平面拋光:32mm直徑 x 25mm 高

    360? 旋轉且轉速可調,同時(shí)樣品臺可搖擺 

    磁編碼器提供定位精度

    液氮冷臺

    可選液氮冷臺升級,冷卻時(shí)間分為3-5小時(shí) 和18小時(shí)以上兩種 

    溫度<-170℃~室溫,具備自動(dòng)程序化控溫設計

    拋光速率500μm/Hr(Si@10keV)
    真空系統

    80L/s分子泵加多級無(wú)油隔膜泵

    配有寬量程規,無(wú)需清潔

    真空轉移可選真空轉移或惰性氣體保護下轉移升級
    氣源

    99.999%高純氬氣,使用壓力 15 psi

    配備精確氣體質(zhì)量流量計

    人機界面

    10英寸觸屏設計,可實(shí)現配方編程控制

    可選遠程燈光指示器

    電源220/240 VAC, 50/60 Hz, 720 W
    尺寸/重量68cm(W)X55cm(H)X 54cm(D),73kg


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