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當前位置：上海波銘科學(xué)儀器有限公司>> OPTM 系列銷(xiāo)售顯微分光膜厚儀品牌
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號OPTM 系列
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
更新時(shí)間：2024-04-18 15:07:57瀏覽次數：156次
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• 使用顯微光譜法在微小區域內通過(guò)*對反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數分析。
• 可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了 即使是初次使用的用戶(hù)，也可容易出分析光學(xué)常數的軟件。
• 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
• 通過(guò)顯微光譜法測量高精度*對反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數）
• 1點(diǎn)1秒高速測量
• 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統（紫外至近紅外）
• 區域傳感器的安全機制
• 易于分析向導，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數分析
• 獨立測量頭對應各種inline客制化需求
• 支持各種自定義
測量項目：
• *對反射率測量
• 多層膜解析
• 光學(xué)常數分析（n：折射率，k：消光系數）
OPTM 系列顯微分光膜厚儀
型號 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
波長(cháng)范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn) | ||
光斑大小 | 10μm (小約5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘燈+鹵素燈 | 鹵素燈 | |
電源規格 | AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺規格） | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺規格之主體 部分) | ||
重量 | 約 55kg（自動(dòng)樣品臺規格之主體部分） | ||
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