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    北京埃光科技有限公司


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    CIS系列封閉離子源式質(zhì)譜儀

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    ·100，200和300amu系統·1 ppm的檢測·10mTorr工作壓力·1×10-12Torr檢測極限·RGA的Windows軟件·可現場(chǎng)更換的電子倍增器和長(cháng)絲·RGA和CIS模式

    詳細介紹

    商品描述

    ·100，200和300amu系統

    ·1 ppm的檢測

    ·10mTorr工作壓力

    ·1×10-12Torr檢測極限

    ·RGA的Windows軟件

    ·可現場(chǎng)更換的電子倍增器和長(cháng)絲

    ·RGA和CIS模式


    CIS 系列封閉式離子源分析儀

    憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶(hù)友好的 Windows 軟件包，CIS 系統將滿(mǎn)足您的應用。在線(xiàn)過(guò)程監測和控制、在使用點(diǎn)驗證過(guò)程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過(guò)程設備泄漏檢查是這些系統的一些領(lǐng)域。

    緊湊型設計

    鍍金離子發(fā)生器

    該探頭由一個(gè)四極質(zhì)譜儀和一個(gè)安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內的 CIS 離子發(fā)生器組成?？刂茊卧苯影惭b在探頭的饋通法蘭上，并包含操作儀器所需的所有電子設備。CIS 接頭的側端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測器保持在高真空狀態(tài)的差動(dòng)泵系統連接。該系統可以通過(guò)其標準 CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到處理室。該裝置是自對準的，具有簡(jiǎn)單、堅固的設計。您可以清潔和重新組裝探頭，并在現場(chǎng)更換燈絲和電子倍增器，而無(wú)需致電工廠(chǎng)。

    鍍金離子發(fā)生器

    整個(gè)離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區域中的除氣和背景信號，提高了長(cháng)期穩定性，并允許在暴露于反應性和腐蝕性氣體時(shí)進(jìn)行操作。使用鎢絲，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應性氣體，并延長(cháng)使用壽命。電離器的封閉（氣密）設計可防止常見(jiàn)的干擾物質(zhì)回流到電離體積中。這會(huì )產(chǎn)生沒(méi)有光譜重疊的峰。

    探測器的選擇

    CIS 系列分析儀標配法拉第杯檢測器（10 ppm 檢測）和連續打拿極電子倍增器（1 ppm 檢測）。該軟件允許您在檢測器之間輕松切換。

    電子倍增器

    多功能性

    CIS 系統也可以用于所謂的“RGA 模式"。在這種模式下，裝置具有較低的最小可檢測分壓，但也具有較低的工作壓力。例如，RGA 模式用于濺射工藝的階段，此時(shí)腔室被抽空至低壓，并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式，以便在較高壓力下直接采樣。

    可編程性

    提供標準 RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監控所有探頭參數，并且可以獲取數據以用于自定義應用程序。

    視窗軟件

    模擬模式

    CIS 系統由在 PC 上運行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀(guān)的圖形用戶(hù)界面允許快速輕松地進(jìn)行測量。該程序是交互式的，使用戶(hù)可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進(jìn)行雙模式操作，刻度可設置為線(xiàn)性或對數格式，數據可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數據，或按給定時(shí)間間隔計劃采集數據，以進(jìn)行長(cháng)期數據記錄。功能包括用戶(hù)可選擇的單位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視頻警報以及全面的在線(xiàn)幫助。該軟件允許通過(guò)簡(jiǎn)單的質(zhì)量標度調整、靈敏度校準、離子發(fā)生器設置和電子倍增器增益調整實(shí)現完整的 CIS 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析，數據文件可以以 ASCII 格式保存，以便于傳輸到電子表格中。圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以導入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數提供密碼保護，使臨時(shí)用戶(hù)無(wú)法更改重要設置。

    可選的獨立監視器 ( PPM100 ) 可用于在沒(méi)有主機的情況下控制 RGA。

    壓力與時(shí)間

    多頭操作

    當需要多個(gè) CIS 時(shí)，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監控 8 個(gè) ECU。

    泵送要求

    CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統。連接端口是一個(gè) 2.75" Conflat ® 法蘭。選項 O100TDP 提供一個(gè)渦輪泵，它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 頭上。訂購此選項時(shí)，整個(gè)分析儀都在工廠(chǎng)組裝、測試和校準。用戶(hù)可以提供自己的泵站；但是，用戶(hù)有責任確保泵系統不會(huì )損壞或限制儀器的性能。

    經(jīng)濟實(shí)惠的性能

    圖書(shū)館模式

    SRS CIS 系統以競爭模型的一小部分成本提供的性能。標準系統包括法拉第杯探測器、電子倍增器探測器和 Windows 軟件。選項包括用于交流線(xiàn)路操作的內置電源模塊，以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。




    獨聯(lián)體尺寸圖





    獨聯(lián)體參數范圍獨聯(lián)體模式RGA模式
    電子發(fā)射電流 (mA)0到10.050.5
    電子能量 (eV)25 至 10570 或 3570
    離子能量 (eV)4 或 84 或 84 或 8
    提取電壓 (V)0 到 -150-50（典型值）-50（典型值）
    靈敏度 (A/Torr)
    （對于 N 2 @28 amu）
    		10 -610 -5
    線(xiàn)性范圍上限 (Torr)
    		2×10 -310 -4
    MDPP (托)
    		10 -810 -9

    筆記


    1. CIS 測試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進(jìn)行，由隔膜泵支持，連接到 CIS Cover Tee 的側端口。2. 報告的 RGA 模式靈敏度是針對低于 10 -5  Torr的 N 2
    計算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計算的。4. MDPP（最小可檢測分壓）通過(guò)在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情況下測量法拉第杯檢測的基線(xiàn)水平來(lái)確定

     托（CIS 模式）。當電子倍增器打開(kāi)時(shí)，可檢測性可提高多達 3 個(gè)數量級。



    CIS 系列規格

    操作

    質(zhì)量范圍
         CIS1001 到 100 amu
         CIS2001 到 200 amu
         CIS3001 至 300 amu
    質(zhì)量過(guò)濾器類(lèi)型四極桿
    探測器類(lèi)型法拉第杯和電子倍增器
    解決優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據 AVS 標準 2.3）。在整個(gè)質(zhì)量范圍內可調至恒定峰寬。
    限度。工作溫度70℃
    烘烤溫度300 °C（不帶 ECU）

    離子發(fā)生器

    設計封閉離子源，圓柱對稱(chēng)，電子碰撞電離
    材料鍍金 SS304
    燈絲鎢或 ThO 2 /Ir 帶固件保護（現場(chǎng)可更換）
    電子能量 25 至 105 eV，可編程
    離子能量4 或 8 eV，可編程
    聚焦電壓0 至 150 V，可編程
    電子發(fā)射電流0 至 1 mA，可編程

    一般的

    探頭安裝法蘭2.75" CF
    ECU尺寸4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL)?？奢p松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。
    LED指示燈電源開(kāi)/關(guān)、燈絲開(kāi)/關(guān)、電子倍增器開(kāi)/關(guān)、RS-232忙、錯誤、過(guò)壓、燈絲燒毀
    熱身時(shí)間3 分鐘后峰高 ±2 %。30 分鐘后質(zhì)量穩定性 ±0.1 amu。
    電腦接口RS-232C，28,800 波特，帶高級命令集
    軟件基于 Windows 的應用程序
    電力需求24 VDC @ 2.5 安培。公頭 DB9 連接器，可選內置電源模塊，用于交流線(xiàn)路操作
    重量6 磅。
    保修單一年零件和人工材料和工藝缺陷


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