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    無(wú)錫凱派克斯科技有限公司


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    FEI場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡Quanta™ 250 FEG2

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    所在地區:江蘇無(wú)錫市

    聯(lián)系人:林經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    Quanta™250FEG真正的高分辨、多用途掃描電鏡研究各種各樣的材料,并進(jìn)行結構和成份表征,是目前對掃描電鏡的主流應用要求

    詳細介紹


    Quanta™ 250 FEG
    真正的高分辨、多用途掃描電鏡

      
    研究各種各樣的材料,并進(jìn)行結構和成份表征,是目前對掃描電鏡的主流應用要求。 FEI Quanta™ FEG系列靈活、通用,足以應對當今人們廣博的研究方向這一挑戰。分析任何樣品,得到所有數據",在Quanta FEG上可得到表面像和成份像,并可輔以多種附件來(lái)確定材料的性質(zhì)和元素組成。
        
    當今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經(jīng)導電處理過(guò)的樣品。 Quanta 50 FEG系列對任何樣品都可得到高質(zhì)量的圖像和分析結果。無(wú)論是對現今的或是將來(lái)的應用領(lǐng)域, FEIQuanta 50FEG系列都是一個(gè)的、靈活的解決方案。其特點(diǎn)是,具有高真空、低真空和ESEM環(huán)境真空三種真空模式,適合分析泛的樣品范圍,從傳統的金屬材料、斷口和拋光斷面,到不導電的軟物質(zhì)。
        
    Quanta 50 FEG系列是基于前兩代成功的肖特基場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描技術(shù)開(kāi)發(fā)的第三代Quanta系列產(chǎn)品。這一系列產(chǎn)品用戶(hù)界面使用起來(lái)十分方便、靈活,有多種功能****程度地發(fā)揮其使用效率,并且允許采集所有需要的數據。它是電鏡專(zhuān)家設計來(lái)給電鏡專(zhuān)家使用的儀器,性能遠不止簡(jiǎn)便易用"。這些功能有:的圖像導航功能包括蒙太奇圖像導航、鼠標雙擊樣品臺移動(dòng)、鼠標拖曳放大居中功能以及其它標準的特色技術(shù); SmartSCAN™,一種智能掃描技術(shù),能降低信號噪音,提供更好的數據;電子束減速模式,一個(gè)新的選項,將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個(gè)全新的水平;Nav-Cam™彩色圖像導航器及新開(kāi)發(fā)的探測器也大大增加了其靈

     

    主要優(yōu)點(diǎn)
    世界上****具有環(huán)境掃描技術(shù)的高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
    在各種操作模式下分析導電和不導電樣品,得到二次電子像和背散射電子像
    ****程度降低樣品制備要求:低真空/環(huán)境真空技術(shù)使得不導電樣品和/或含水樣品不經(jīng)導電處理即可直接成像和分析,樣品表面無(wú)電荷累積現象
    穿過(guò)透鏡"的壓差真空系統,對導電和不導電樣品都可進(jìn)行EDS/EBSD分析,不管是在高真空模式或在低真空模式。穩定的大束流(**** 200 nA)確保能譜及EBSD分析工作的快速、準確
    電鏡可作為一個(gè)微觀(guān)實(shí)驗室。安裝特殊的原位樣品臺后,在從- 165 °C1500 °C溫度范圍內,對多種樣品保持其原始狀態(tài)下進(jìn)行動(dòng)態(tài)原位分析
    對導電樣品,可選用減速模式得到表面和成份信息
    直觀(guān)、簡(jiǎn)便易用的軟件,即使電鏡新手也能

     

    典型應用:
    納米表征

    金屬及合金氧化/腐蝕斷口焊點(diǎn)拋光斷面磁性及超導材料
    陶瓷復合材料塑料
    薄膜/涂層地質(zhì)樣品斷面礦物
    軟物質(zhì)聚合物藥品過(guò)濾膜凝膠生物組織木材
    顆粒多孔材料纖維
    原位過(guò)程分析
    增濕/去濕
    浸潤行為/接觸角分析
    氧化/腐蝕
    拉伸 (伴隨加熱或冷卻)
    結晶/相變

    納米原型制備
    電子束曝光 (EBL)
    電子束誘導沉積
    (EBID)
    主要參數

    電子光學(xué)
    高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
    優(yōu)化的高亮度、大束流鏡筒
    ? 45°錐度物鏡極靴,及穿過(guò)透鏡"的壓差真空系統,加熱式
    物鏡光闌
    加速電壓200 V - 30 kV
    束流****200 nA并連續可調

    放大倍數14 x – 1,000,000 x (四幅圖像顯示)
    分辨率

    高真空
    – 30 kV0.8 nm (STEM)*
    – 30 kV
    1.0 nm (SE)
    – 30 kV
    2.5 nm (BSE)*
    – 1 kV
    3.0 nm (SE)
    高真空下減速模式
    *
    – 1 kV
    3.0 nm (BSE)*
    – 1 kV
    2.3 nm (ICD)*
    – 200 V
    3.1 nm (ICD)*
    低真空

    – 30 kV1.4 nm (SE)
    – 30 kV
     
    2.5 nm (BSE)
    – 3 kV
    3.0 nm (SE)
    環(huán)境真空
     (ESEM)
    – 30 kV1.4 nm (SE)

    檢測器
    ? E-T二次電子探頭
    大視場(chǎng)低真空氣體二次電子探頭 (LFD)
    氣體二次電子探頭 
    (GSED)
    樣品室紅外CCD相機

    高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*
    氣體背散射探頭
    *
    四分固體背散射探頭
    *
    閃爍體型背散射探頭
    /CLD*
    ? vCD 
    (低電壓、高襯度探頭
    )*
    鏡筒內探頭(ICD),用于減速模式下二次電子檢測
    *
    電子束流檢測器
    *
    分析型氣體背散射探頭 
    (GAD)*
    ? STEM
    探頭
    *
    ? Nav-Cam™– 光學(xué)相機彩色成像,用于樣品導航
    *
    陰極熒光探測器
    *
    能譜
    *
    波譜
    *
    ? EBSD*
    真空系統

    ? 1個(gè) 250 l/s 渦輪分子泵2個(gè)機械泵
    穿過(guò)透鏡"的壓差真空系統
    電子束在氣體區域的行程: 10 mm2 mm
    可升級成無(wú)油機械泵

    ? 2個(gè)離子泵
    樣品室真空度 (高真空模式) <>6e-4 Pa
    樣品室真空度(低真空模式) <>
    10 to 130 Pa
    樣品室真空度(環(huán)境真空模式) <>
    10 to 4000 Pa
    典型換樣時(shí)間高真空模式≤ 150秒;低真空及環(huán)境真空模式≤ 270 (FEI標準測試程序
    )
    樣品室

    左右內徑284 mm
    ? 10 mm
    分析工作距離

    ? 8個(gè)探測器 / 附件接口
    ? EDS采集角35°
    樣品臺

    ? X/Y = 50 mm
    ? Z = 50 mm 
    (其中馬達驅動(dòng)25 mm
    )
    手動(dòng)傾斜: 
    - 15° to + 75°
    連續旋轉
    360°
    重復精度2 μm (X/Y方向
    )
    ?

    樣品座
    多樣品座
    單樣品座
    通用樣品座套件*
    適用于硅片或其它特殊要求的樣品座
    *
    圖像處理器

    ****6144 x 4096像素
    圖像文件格式: TIFF(8,16 or 24 bit)BMP or JPEG
    單窗口或四窗口圖像顯示

    四活動(dòng)窗口
    實(shí)時(shí)或靜態(tài)按彩色或按灰度等級信號混合
    ? 256 幀平均或積分
    數字動(dòng)畫(huà)記錄 (.avi格式)
    直方圖及圖像測量軟件

    支持軟件
    ? SmartSCAN™ 智能掃描技術(shù)
    蒙太奇圖像導航
    軟件溫度控制
    ? FEI動(dòng)畫(huà)生成工具
    系統選項
    減速模式
    多功能控制板
    支持計算機 (包括第二個(gè)24寸液晶顯示器)
    軟件控制的Peltier冷臺

    軟件控制的WetTSTEM™
    軟件控制的1000 °C熱臺

    軟件控制的1500 °C熱臺
    游戲操縱桿
    樣品電流探測
    遠程控制
    視頻打印機
    樣品座套件
    機械泵隔音罩
    ? 7針或52針電氣接口
    靜電電子束束閘
    波譜儀接口
    更換成無(wú)油機械泵套件

     

    通用第三方附件
    能譜儀
    波譜儀
    ? EBSD
    冷臺

    陰極熒光譜儀
    樣品電流探測器
    納米機械手
    電子束曝光系統
    ? CAD導航
    電子探針臺
    軟件選項
    遠程控制/觀(guān)察軟件
    圖像分析軟件
    基于Web的數據庫軟件
    高度分布/粗糙度測量軟件
    支持文檔
    在線(xiàn)幫助
    入門(mén)培訓CD
    ? RAPID™ (遠程診斷軟件
    )
    免費連接到FEI用戶(hù)群在線(xiàn)資源庫

    免費加入FEI環(huán)境掃描用戶(hù)俱樂(lè )部
    安裝要求
    (更多的數據請參考預安裝手冊")
    電源電壓 230 V (+ 6 %, - 10 %)
    ,
    頻率 
    50 or 60 Hz (+/- 1 %)
    耗電量電鏡基本系統
    < 3.0="">
    接地<>Ω(歐洲標準
    )
    場(chǎng)地環(huán)境工作溫度 20 °C +/- 3 °C;

    相對濕度 <>80 % (無(wú)冷凝);殘余交流磁場(chǎng)
    < 40="">(非同步頻率,水平X/Y方向),
    < 300="">(同步頻率,水平X/Y方向
    )
    門(mén)寬
    90 cm
    重量主機重量約530 kg;電氣柜約
    139 kg
    干燥氮氣(推薦使用): 
    0.7 - 0.8 bar,
    放氣時(shí)****流速
    10 l/min
    干燥無(wú)油壓縮空氣
    4 – 6 bar
    可以不選配冷卻水機,如果滿(mǎn)足場(chǎng)地條件要求(詳見(jiàn)預安裝手冊
    )
    噪音< 68="">(需場(chǎng)地測試確定
    )
    振動(dòng) (需場(chǎng)地測試確定
    )
    減振臺可選

    節能措施
    ? Energy Star認證的顯示器和工作站


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