杭州諾榮測控技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間:2024-09-29 11:33:48瀏覽次數:179次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)1.1簡(jiǎn)介采用工業(yè)相機配合視覺(jué)軟件實(shí)現MICRALIGN400,500,600,700系列光刻機的自動(dòng)對位
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1.1 簡(jiǎn)介
采用工業(yè)相機配合視覺(jué)軟件實(shí)現MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機的自動(dòng)對位。改造后自動(dòng)控制系統與機臺原有操控系統兼容,可自由切換。系統可接入車(chē)間生產(chǎn)管理平臺,自動(dòng)下載工藝參數,上傳機臺動(dòng)作數據。改造方便,性?xún)r(jià)比高。
1.2功能特點(diǎn)
1)實(shí)現自動(dòng)獲取圖像,按照設定條件進(jìn)行十字標識的位置獲??;
2)系統發(fā)出控制脈沖,模擬人手操作調節控制片平臺或版平臺移動(dòng);
3)對位精度在1um以?xún)龋?0S內完成自動(dòng)對位過(guò)程;
4)模擬曝光鍵、微調鍵功能;
5)人工調節操縱桿對位和自動(dòng)視像對位功能切換;
6)實(shí)現智能自動(dòng)對位規則、數據、圖片截圖保存;
7)記錄自動(dòng)曝光片數、花籃位置、光刻版統計、樣片提醒功能;
8)可以根據設定的曝光片數加工,數量到達后發(fā)出報警并自動(dòng)切換到人工對位。人工曝光完成后,再自動(dòng)切換回自動(dòng)對位曝光。
9)支持掃碼槍掃碼輸入,自動(dòng)定位視像存儲和查詢(xún),數據可上傳到MES系統,可以讀取MES系統數據實(shí)現自動(dòng)錄單和光刻版號和批號的對比功能,識別加工設備、光刻版管理功能。
10)模擬設備上數字小鍵盤(pán)功能。(實(shí)現設定曝光量,調節機偏功能)。
11)報警功能:25S內無(wú)法完成對位報警提示,大于75分貝語(yǔ)音提醒。
12)具有分級管理權限,使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。
13)具有緊急停止中斷功能,具備緊急按鈕。
14)更換品種后對準識別圖形自動(dòng)更換。
15)加工批次連接MES,建立文件夾自動(dòng)儲存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存,方便查詢(xún)。
16)實(shí)現250的機偏調整功能。
17)具備標識圖形和對準圖形的對準中心識別功能。
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