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    行業(yè)產(chǎn)品

    • 行業(yè)產(chǎn)品

    艾泰克儀器科技（南京）有限公司


    三維形貌儀

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地南京市

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    三維形貌儀概述Rtec形貌儀在加利福尼亞硅谷制造

    詳細介紹


    三維形貌儀

    概述
    Rtec 形貌儀在加利福尼亞硅谷制造。已被多個(gè)實(shí)驗室、大學(xué)和行業(yè)使用。UP系列在一個(gè)頭上組合了4種成像模式。能夠在同一測試平臺上運行多種測試，只需單擊按鈕，就能轉換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如 透明，平坦，黑暗，扁平，彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢，并且各項技術(shù)彼此互補。該項整合技術(shù)不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。

    3D光學(xué)輪廓儀組合

    • 白光干涉儀
    • 旋轉盤(pán)共聚焦顯微鏡
    • 暗視野顯微鏡
    • 明視野顯微鏡

    主要平臺規格

    產(chǎn)品規格
    • 標準電動(dòng)平臺150x150mm（可選210x310mm）
    • 標準轉塔，電動(dòng)轉塔可選
    • 垂直范圍可達100mm
    • 傾斜階段6度
    • XY平臺分辨率0.1um
    • 自動(dòng)拼接楷模
    • Sigma頭 - 白光干涉儀
    • Lambda頭 - 白光干涉儀+共焦+暗場(chǎng)+明場(chǎng)
    應用
    ●粗糙度 ●體積磨損 ●臺階高度 ●薄膜厚度 ●形貌

    測試圖像示例

    DLC涂層球 粗糙涂層表面 圓球磨斑
    金剛石 生物膜 微流體通道
    聚合物涂層 墨痕 硬幣
    研磨墊 鋁的失效痕跡 劃痕
    涂層失效痕跡 芯片通道 晶圓


    以上為雙模式三維表面輪廓儀拍出的樣品形貌。在同一平臺上結合使用多種光學(xué)技術(shù)，測試儀可以測量幾乎任何類(lèi)型的nm分辨率樣品。 該表面輪廓儀配有功能強大的分析軟件，符合多種標準。雙模式三維表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗檢測，模式切換可實(shí)現自動(dòng)化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。

















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