奧坤鑫（蘇州）機電科技有限公司
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產(chǎn)品型號
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廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間：2024-11-26 11:15:30瀏覽次數：85次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)編號項目技術(shù)參數1機臺整機規格2000(W)times;1500(D)times;1960(H) mm2真空室規格1030(W)×1100（D)×1070(H) mm3電極板規格17層平板式電極板（944Wtimes;790 D mm (28W times;24D in)）4控制系統PC工控系統+PLC自動(dòng)控制5真空測定系統皮拉尼電阻式真空計6氣體計量系統精確質(zhì)量流量控制計MFC7氣體路數2mdash;5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O28等離子發(fā)生器10KW等離子體發(fā)生···
編號 | 項目 | 技術(shù)參數 |
1 | 機臺整機規格 | 2000(W)×1500(D)×1960(H) mm |
2 | 真空室規格 | 1030(W)×1100（D)×1070(H) mm |
3 | 電極板規格 | 17層平板式電極板（944W×790 D mm (28W ×24D in)） |
4 | 控制系統 | PC工控系統+PLC自動(dòng)控制 |
5 | 真空測定系統 | 皮拉尼電阻式真空計 |
6 | 氣體計量系統 | 精確質(zhì)量流量控制計 MFC |
7 | 氣體路數 | 2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等離子發(fā)生器 | 10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz） |
9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
特 點(diǎn)：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持。 | ||
用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車(chē)電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 | ||
1、印制線(xiàn)路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。 2、半導體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線(xiàn)、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。 | ||
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