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    行業(yè)產(chǎn)品

    • 行業(yè)產(chǎn)品

    奧坤鑫（蘇州）機電科技有限公司


    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地蘇州市

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    更新時(shí)間：2024-11-26 11:24:23瀏覽次數：79次

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    商鋪產(chǎn)品：46條

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    聯(lián)系人：劉總

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    編號內容規格參數備注1整機結構帶load port系統分為前端設備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統與等離子體處理單元分體式設計2等離子體源射頻等離子體源或雙頻等離子體源3反應腔室標準設計為雙反應腔室，可根據需求定制單反應腔室和多反應腔室結構4機械傳片單臂或雙臂高精度機械手5Wafer升降機械式Wafer pin升降結構，Wafer pin采用特定工藝處理6前真空泵干式真空泵，根據安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規···

    詳細介紹

    編號

    內容

    規格參數

    備注

    1

    整機結構

    帶load port系統分為前端設備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統與等離子體處理單元分體式設計


    2

    等離子體源

    射頻等離子體源或雙頻等離子體源

    3

    反應腔室

    標準設計為雙反應腔室，可根據需求定制單反應腔室和多反應腔室結構

    4

    機械傳片

    單臂或雙臂高精度機械手

    5

    Wafer升降

    機械式Wafer pin升降結構，Wafer pin采用特定工藝處理

    6

    前真空泵

    干式真空泵，根據安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規格

    7

    高真空真空泵

    分子泵（水冷或CDA冷卻）

    8

    工藝壓力控制

    自動(dòng)調壓蝶閥

    9

    真空檢測

    管道真空計、反應腔室全量程真空計、工藝真空計、壓差開(kāi)關(guān)

    10

    工藝氣體種類(lèi)

    標準配置高純Ar、N2、O2，可增加其他高純工藝氣體

    設備主要應用：晶圓級封裝前表面預處理、晶圓級鍵合前表面活化、光刻膠涂覆前表面活化、晶圓表面較小particle去除、表面有機殘留去除等。


    設備主要特點(diǎn)：可兼容多尺寸晶圓、可實(shí)現多反應腔室定制、超潔凈反應腔室，有效控制各種污染物、整機空間環(huán)境污染物控制、射頻等離子發(fā)生器或雙頻等離子發(fā)生器、晶圓表面損傷小，可用于帶圖形晶圓的表面活化、等離子體密度高、均勻性好。




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