河南酷斯特儀器科技有限公司
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一、設備簡(jiǎn)介感應區熔及晶體生長(cháng)裝置主要包含兩種功能,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固
一、設備簡(jiǎn)介
感應區熔及晶體生長(cháng)裝置主要包含兩種功能,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固。
二、主要技術(shù)參數:
1、工作溫度:1500℃,常用溫度:1400℃
2、線(xiàn)圈升降行程:150毫米,采用步進(jìn)電機驅動(dòng),升降速度可調節 速度范圍0.1-600mm/min
3、坩堝升降行程:150毫米,采用步進(jìn)電機驅動(dòng),升降速度可調節 速度范圍0.1-600mm/min
4、石墨坩堝尺寸:φ40*60㎜
5、感應電源振蕩功率:15KVA,電源電壓380V
6、采用熱電偶控溫,0~1600℃
7、可抽真空與充保護氣氛,保護氣氛壓力≤0.02Mpa
8、真空系統:用戶(hù)自備
三、結構簡(jiǎn)介
感應區熔及晶體生長(cháng)裝置主要由感應加熱裝置,坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置、可視化控制系統與冷卻系統組成。
1、感應加熱裝置:由一臺振蕩功率15kVA,振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源***感應加熱
2、坩堝及保溫裝置:由一只石墨坩堝,一種石英陶瓷保溫套、保溫底座和保溫蓋組成,保證傳輸到石英管的溫度低于1000℃;保溫蓋開(kāi)有觀(guān)察孔,可觀(guān)察到溶液狀態(tài)。
3、密封石英管裝置:由一根石英管,兩套密封法蘭組成,采用硅膠密封圈密封,局部帶水冷,密封法蘭上帶各種接口,方便其他裝置接入。
4、區熔裝置:由步進(jìn)電機、減速機、線(xiàn)性模組和連接塊組成,帶動(dòng)線(xiàn)圈沿著(zhù)石英管上下**,速度可調節,實(shí)現區熔目的。
5、定向凝固裝置:從石英管底部密封法蘭處引入,帶動(dòng)密封結構,留有熱偶接口,由步進(jìn)電機、減速機、線(xiàn)性模組和連接塊帶動(dòng)坩堝實(shí)現上下升降目的,實(shí)現定向凝固功能。
6、保護氣氛裝置:石英管底部密封法蘭留有充氣接口,帶閥門(mén)和進(jìn)氣接口,石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門(mén),并裝有安全閥,防止氣壓過(guò)高損壞元件
7、測溫裝置:從定向凝固**管中接入,可直接跟石墨坩堝接觸,測量石墨坩堝溫度,并能根據設定溫度自動(dòng)調節高頻電源的輸出功率。
8、支架及操作臺裝置:采用型材與板材拼接而成,人性化設計,操作方便,占地空間小。
9、可視化控制系統:采用PLC+觸摸屏控制整套系統,實(shí)現可視化操作,操作直觀(guān)方便。還可實(shí)時(shí)記錄各種實(shí)驗數據并下載到PC端,方便用戶(hù)調整工藝數據。
10、冷卻系統:由2P冷水機、兩套閥門(mén)、分流器與管路組成,滿(mǎn)足供水要求。
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