河南酷斯特儀器科技有限公司
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更新時(shí)間:2025-01-10 09:54:13瀏覽次數:24次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)下降式晶體生長(cháng)爐技術(shù)規格書(shū)一·設備用途:主要用于LED半導體、太陽(yáng)能等工業(yè)晶體的提純、制備
下降式晶體生長(cháng)爐
技術(shù)規格書(shū)
一·設備用途:
主要用于LED半導體、太陽(yáng)能等工業(yè)晶體的提純、制備。
二·設備特點(diǎn):
本設備采用一體化設計,立式鐘罩式結構,爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節能50%,爐體采用雙層爐殼結構,雙層爐殼之間裝有風(fēng)機,可以快速升降溫,爐殼表面溫度低,**整潔大方。
三·主要技術(shù)參數
1.**使用溫度:1600℃
2.控溫區:兩區(一區高溫區,一區輔助加熱區)
3.功率: 15Kw±10%單相
4.發(fā)熱材料:硅鉬棒(高溫區)電阻絲(輔助加熱區)
5.恒溫區間:200mm(高溫區)
6.爐膛內徑:120mm
7.測溫系統: 熱電偶
8.控溫精度: ±1℃
9.坩堝升降:位移行程 300mm
慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm
快速升降50-200mm/min(伺服控制)
坩堝旋轉:坩堝轉速 1~50RPM
四、結構組成
1、爐體及爐體升降機構
2、坩堝升降旋轉系統
3、變壓器及聯(lián)接電纜
4、 溫控系統
五、結構說(shuō)明
1、爐體及爐體升降系統:爐體殼體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板雙層結構設計技術(shù),殼體顏色漆經(jīng)過(guò)高溫烘烤而成,經(jīng)久耐用,爐膛采用高純氧化鋁多晶體纖維材料,分兩區***控溫,高溫區采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒為加熱元件,輔助溫區采用優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱元件,兩個(gè)溫區之間形成溫度梯度,從而保證晶體的正常生長(cháng),雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統,能快速對溫控系統降溫;該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優(yōu)點(diǎn)。爐體整體做成一個(gè)圓筒的罩式結構,與固定在支架平臺上的爐底組成一個(gè)完整的爐膛,爐體配有一升降系統,可是爐體**升降,方便裝卸料。
2、坩堝升降旋轉系統:坩堝升降采用伺服控制,位移精度可達0.01毫米,控制精度高,它是由一套線(xiàn)性模組和伺服電機,減速機組成,旋轉機構由旋轉電機減速機組成,升降和旋轉安裝在同***臺上,組成一個(gè)完整的機構,安裝在爐底中心位置,從而帶動(dòng)坩堝桿的升降與旋轉,坩堝桿的上部裝有一坩堝平臺,采用高溫陶瓷材料,經(jīng)久耐用。
3、溫控系統:電爐的溫度控制采用可控硅功率控制器+低電壓大電流變壓器,可控硅功率控制器采用移相觸發(fā)方式來(lái)實(shí)現電壓的無(wú)級調節,從而達到自動(dòng)控制功率的目的。采用宇電50段溫控儀表,控溫精度高,可根據需要設定多段升溫曲線(xiàn),從而達到自動(dòng)控制溫度的目的。功能強大,操作方便,具有超溫,上線(xiàn)***聲光**功能??刂乒衩姘迳显O有液晶觸模屏,可顯示、設定坩堝升降速度,旋轉速度、位移等,直觀(guān)顯示系統各部件的工作狀態(tài),并可實(shí)時(shí)顯示記錄工況爐內的溫度??娠@示溫度、位移曲線(xiàn),記錄保存數據,數據也可以刪除、導出。爐子的所有動(dòng)作都有一臺PLC來(lái)完成,控制精確自動(dòng)化程度高。
4、變壓器及聯(lián)接電纜:采用三相干式變壓器,聯(lián)接電纜采用銅排或軟電纜降低損耗,環(huán)保節能。
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