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    行業(yè)產(chǎn)品

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    液體中量程質(zhì)量流量控制器

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介T(mén)SK521質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫(xiě)為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制

    詳細介紹

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    TSK521質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。TSK521系列氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(以下稱(chēng)MFC/MFM)通過(guò)測量層流元件的差壓、壓力、溫度來(lái)計算流量，這種測量方式具有固有的線(xiàn)性,重復性好,高精度,無(wú)需預熱,溫漂小等特點(diǎn)。本產(chǎn)品可以同時(shí)測量4種參數：氣體的瞬時(shí)流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時(shí)顯示和輸出。廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

    技術(shù)特點(diǎn)

    1、采用差壓式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
    2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡(jiǎn)易。
    3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
    4、測量和控制的量程范圍大，滿(mǎn)量程可達300ln/min（N2當量）或20kg/min(H2O當量)
    5、預熱時(shí)間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
    6、可通過(guò)二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊，操作簡(jiǎn)單。
    7、可直接與上位機連接，實(shí)現組網(wǎng)，便于操作。


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