相確精密儀器（上海）有限公司
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新技術(shù)，帶來(lái)了新發(fā)現高數值孔徑—低像差物鏡通過(guò)比當前的數碼顯微鏡數值孔徑更高、像差更小的物鏡、改進(jìn)后更均勻的照明光源，DSX510系列光學(xué)數碼顯微鏡的成像分辨率可與的光學(xué)顯微鏡媲美
新技術(shù)，帶來(lái)了新發(fā)現
高數值孔徑—低像差物鏡
通過(guò)比當前的數碼顯微鏡數值孔徑更高、像差更小的物鏡、改進(jìn)后更均勻的照明光源，DSX510系列光學(xué)數碼顯微鏡的成像分辨率可與的光學(xué)顯微鏡媲美。DSX510的物鏡工作距離長(cháng)，可觀(guān)察高度極不平坦的樣品。
IC芯片（物鏡NA 0.4） | IC芯片（物鏡NA 0.8） |
貝氏體鋼（物鏡NA 0.4） | 貝氏體鋼（物鏡NA 0.8） |
變焦光學(xué)系統可涵蓋大范圍的放大倍率
變焦光學(xué)系統： 一個(gè)物鏡涵蓋低倍到高倍
放大倍率的改變——DSX510的變焦光學(xué)系統可提供高達13X的光學(xué)變焦和30X的數碼變焦。單個(gè)物鏡即可涵蓋傳統光學(xué)顯微鏡的放大范圍。
樣品的變焦放大
各種各樣的觀(guān)察方法，可自由使用
快速簡(jiǎn)便地獲取觀(guān)察需要的圖像
工業(yè)顯微鏡觀(guān)察方法的理想之選，DSX510可提供各種各樣的觀(guān)察方法，呈現給用戶(hù)對的光學(xué)系統所期望的高分辨率圖像。
BF 明場(chǎng)觀(guān)察—— 普遍的顯微鏡觀(guān)察方法 | DF 暗場(chǎng)觀(guān)察—— 鑒別缺陷的方法。 從樣品側面照明以突出瑕疵。 | MIX (BF + DF) 明場(chǎng)+暗場(chǎng)組合觀(guān)察—— 同時(shí)使用明場(chǎng)和暗場(chǎng)，將明場(chǎng) 觀(guān)察的簡(jiǎn)便性和暗場(chǎng)觀(guān)察對缺 陷的突出效果結合在一起。 | DIC 微分干涉觀(guān)察—— 檢查不平坦表面或 納米級缺陷的理想之選。 | PO 偏振光觀(guān)察—— 消除基板眩光的重要技術(shù)， 以精確地呈現樣品的表面特征。 |
僅需點(diǎn)擊一下鼠標便可選擇觀(guān)察方法
僅需點(diǎn)擊一下鼠標便可選擇幾乎所有的顯微觀(guān)察方法，DSX510 使選擇正確的觀(guān)察方法變得簡(jiǎn)單。無(wú)需復雜的調整——僅需簡(jiǎn)單的在觀(guān)察方法（明場(chǎng)、暗場(chǎng)、MIX [明場(chǎng) + 暗場(chǎng)]、微分干涉、偏振光）之間選擇，便可呈現滿(mǎn)足精確觀(guān)測所需的高品質(zhì)圖像。
的圖像處理
高動(dòng)態(tài)范圍HDR成像：
超越人眼觀(guān)察效果的高品質(zhì)視覺(jué)呈現
樣品的成像效果依據材料的性質(zhì)、表面狀況或照明方法會(huì )有所不同。DSX510的數碼圖像技術(shù)產(chǎn)生的多種觀(guān)察方法，呈現出超越人眼觀(guān)察效果的高品質(zhì)圖像。高動(dòng)態(tài)范圍成像功能（HDR）將不同曝光度下獲取的合成影像與微分干涉（DIC）觀(guān)察法下獲得的樣品表面精細的高度差影像結合起來(lái)，可呈現更加精確的樣品表面狀況。HDR的高保真度影像，不僅可以顯示出紋理，還可顯示出之前發(fā)現不了的裂紋和缺陷，同時(shí)減少了眩光，觀(guān)察更舒適。
液晶平板上的ACF各向異性導電膠 （標準觀(guān)察法） |
(HDR) |
任何人均可在條件下進(jìn)行觀(guān)察
優(yōu)化圖像功能確保了任何操作者都可獲得的操作結果
只需簡(jiǎn)單的選擇一幅的圖像即可完成操作——DSX510將會(huì )自動(dòng)設置必要的參數來(lái)獲取圖像。無(wú)論是缺陷、凹凸的表面還是異物，圖像優(yōu)化功能都確保能獲得的影像。通過(guò)圖像優(yōu)化功能，任何人均可操作該系統——無(wú)論是新手，還是專(zhuān)家——并且還可為每位操作者進(jìn)行用戶(hù)化定制。
DSX510/510i 規格
| DSX510 | DSX510i | |||
| 主機 | 變焦比 | 13.5（光學(xué)變焦0.26X~3.5X），30（包含數碼變焦） | ||
| 物鏡安裝孔 | 兩孔 | |||
| 可安裝物鏡 | DSX專(zhuān)用物鏡 | XLMPLFLN10X, XLMPLFLN40X | ||
| UIS2物鏡 | MPLFLN1.25X, MPLFLN2.5X, MPLFLN5XBDP, MPLFLN10XBDP, MPLFLN20XBDP, MPLFLN50XBDP, LMPLFLN10 XBD, LMPLFLN20X, LMPLFLN50X, MPLAPON50X | |||
準確度和重復性 （X-Y平面） | 放大倍率準確度 | ±3%*2 | ||
放大倍率重復性 | 3 n-1= ±2% | |||
重復性（Z軸） | 重復性（高度） | n-1≤1μm | - | |
照明 | 標配（內置） | 反射光明場(chǎng)LED照明/反射光暗場(chǎng)LED照明 | ||
| 選配 | 高強度LED照明*1/透射光LED照明 | 高強度LED照明*1 | ||
| 照相機 | 影像傳感器 | 1/1.8 英寸，201萬(wàn)像素，彩色CCD（總像素：210萬(wàn)像素） 總像素 : 1688 (H) x 1248 (V) 有效像素 : 1628 (H) x 1236 (V) 實(shí)際像素 : 1600 (H) x 1200 (V) | ||
| 冷卻方式 | 帕耳貼冷卻 | |||
| 掃描方式 | 逐行掃描 | |||
| 幀速率 | 15 fps/27 fps（binning模式） | |||
| 分辨率 | 標準 : 1194 x 1194 (1:1)/1592 x 1194 (4:3) 精細 : 1194 x 1194 (1:1)/1592 x 1194 (4:3) 超精細 : 3594 x 3594 (1:1)/4792 x 3594 (4:3) | |||
| 靈敏度 | ISO 100/200/400/800/1600 | |||
| 聚焦裝置 | 行程 | 95mm | 35mm | |
| 分辨率 | 0.01μm | |||
| 樣品高度 | DSX專(zhuān)用物鏡 | 65mm | - | |
| UIS2物鏡 | 95mm | - | ||
| 載物臺 | 電動(dòng)載物臺 | 型號 | DSX-UFSSU | DSX-IFSSU |
| 行程 | 100 x 100 mm | 50 x 25 mm* 3 | ||
| 承重 | 3 kg | 1 kg | ||
| 手動(dòng)載物臺 | 型號 | U-SIC4R2 | DSX-SFR | |
| 行程 | 100 x 105 mm | 50 x 25 mm*3 | ||
| 承重 | 1 kg | 1 kg | ||
| 液晶顯示器 | 尺寸 | 23"帶觸摸屏的全高清彩色液晶顯示器 | ||
| 分辨率 | 1920 (H) x 1080 (V) | |||
| 重量（主機，電動(dòng)載物臺，液晶顯示器，控制箱，控制器） | 約38.6 kg | 約44.1 kg | ||
額定輸入電源 | 100-120 V/220-240 V, 300 V A, 50/60 Hz | |||
*1不能和內置的標配LED一起使用。*2需要Olympus或代理商的專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行校準 。*3 當安裝 MPLFLN50XBDP或MPLAPON50X物鏡時(shí)，行程為25 x 25 mm。
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