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    武漢頤光ME-L 穆勒矩陣橢偏儀

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    聯(lián)系人：吳先生/鄒先生

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    ME-L穆勒矩陣橢偏儀一、產(chǎn)品介紹：1、超寬的光譜范圍：采用氘燈和鹵素燈復合光源

    詳細介紹




    ME-L 穆勒矩陣橢偏儀
      一、產(chǎn)品介紹：

      1、超寬的光譜范圍：采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm

      2、雙旋轉補償器調制：高精度旋轉與觸發(fā)同步控制，實(shí)現高速光譜數據采集

      3、全穆勒矩陣測量：基于雙旋轉補償器配置，可一次獲取穆勒矩陣的16個(gè)元素，相對于傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息

      4、超級消色差補償設計：補償器技術(shù)，適應從深紫外到近紅外寬光譜范圍內高精度相位調制要求

      5、豐富的材料數據庫和算法模型：數百種材料數據庫、多種算法模型庫、涵蓋了目前絕大部分的光學(xué)材料

      6、向導式交互界面：軟件向導交互式人機界面操作，為用戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)操作體驗

      7、納米光柵分析能力：分析算法模型實(shí)現各種納米光柵結構周期、線(xiàn)寬、線(xiàn)高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息提取



      二、技術(shù)參數：

      基本功能 一次性獲取穆勒矩陣、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜
      光譜范圍 380-1000nm（210-1650nm可選）
      測量時(shí)間 1-8s
      入射角范圍 45-90°
      光斑尺寸 2-3mm/200um
      重復性精度 0.005nm(100nmSiO2硅片)
      精度
      （空氣介質(zhì)）       		 橢偏參數：ψ=45±0.05°     Δ=0±0.01°
      穆勒矩陣：對角元素m=1±0.005  非對角元素m=0±0.005
      分析軟件 多達數百種光學(xué)材料庫，支持用戶(hù)自定義
      多層各向同性/異性光學(xué)薄膜、周期性光柵結構建模仿真與分析功能


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