鉑悅儀器（上海）有限公司
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閱讀：37發(fā)布時(shí)間：2024-11-5
隨著(zhù)太陽(yáng)能電池工業(yè)的快速發(fā)展，多種光伏技術(shù)涌現市場(chǎng)。何種光伏技術(shù)，提能、監控質(zhì)量及降低成本都將成為太陽(yáng)能電池的研究重點(diǎn)。Bruker的探針式表面輪廓儀Dektak XT可為太陽(yáng)能電池領(lǐng)域研究的科學(xué)家提供快速、精準等多種檢測方案，Dektak XT探針式表面輪廓儀通過(guò)定性、定量或檢測多道加工步驟，有效的幫助太陽(yáng)能電池制造商提高產(chǎn)量、降低成本，加速太陽(yáng)能電池的商業(yè)化。
1. Dektak XT測試太陽(yáng)能電池薄膜厚度
理想的太陽(yáng)能電池薄膜厚度是制造出優(yōu)質(zhì)太陽(yáng)能電池的基本條件。透明薄膜還是不透明薄膜，只要構建出基底與薄膜的邊界，Dektak XT均能在幾秒之內快速準確的完成薄膜厚度的測試。
圖1 太陽(yáng)能電池厚度測試
2. Dektak XT表征太陽(yáng)能電池的表面粗糙度
粗糙度是評價(jià)太陽(yáng)電電池能效的重要指標之一，太陽(yáng)能電池表面太光滑影響光照的吸收，太粗糙大量的散射同樣會(huì )影響光的吸收，因此，太陽(yáng)能電池表面粗糙度的監測對提能。探針式表面輪廓儀亞納米級別的分辨率能夠快速、的檢測太陽(yáng)能電池二維及三維表面的粗糙度。
圖2 太陽(yáng)能電池表面二維粗糙度
圖3 太陽(yáng)能電池表面三維粗糙度
3. Dektak XT檢測太陽(yáng)能電池表面軌跡及柵線(xiàn)寬度
為確保合適的面板及小面積無(wú)光伏材料覆蓋，監控銀線(xiàn)質(zhì)量及傳導軌跡。Dektak XT憑借強大的軟件分割功能，可自動(dòng)計算出柵線(xiàn)的深度、寬度、體積、底面與基底的粗糙度，對比數據庫，可快速篩選不合格產(chǎn)品。同時(shí)幫助快速得到柵線(xiàn)正確的位置、寬度、深度，從而減少油墨等昂貴材料的浪費，降低成本。
圖4 太陽(yáng)能電池柵線(xiàn)的多種分析
4. Dektak XT優(yōu)化與控制太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過(guò)程
Dektak XT用于控制和太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程。Dektak XT憑借其200mm的掃描長(cháng)度，能夠快速掃描得出8寸晶圓基底各位置的高度，軟件自動(dòng)快速計算刻蝕與沉積的速率，確保得到理想的薄膜厚度、表面均勻性及必要的加工次數，從而提高生產(chǎn)效率、降低成本。
圖5 8寸晶圓表面各位置高度
結論：
Dektak XT能夠快速的表征太陽(yáng)能電池表面信息，有效幫助得到能、低成本的太陽(yáng)能電池產(chǎn)品。其主要優(yōu)勢有：
1. 對薄膜材質(zhì)沒(méi)有要求，透明、不透明均可，無(wú)需制樣；
2. 亞納米級別的縱向分辨率1Å；
3. 強大的軟件分析功能；
4. 200mm超長(cháng)的掃描長(cháng)度；
5. 業(yè)內的臺階重復性，優(yōu)于4Å。
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