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    行業(yè)產(chǎn)品

    • 行業(yè)產(chǎn)品

    北京環(huán)創(chuàng )科學(xué)儀器有限公司


    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號擴散爐

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地北京市

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    更新時(shí)間：2024-11-22 16:42:25瀏覽次數：74次

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    經(jīng)營(yíng)模式：其他

    商鋪產(chǎn)品：97條

    所在地區：北京北京市

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    詳細說(shuō)明生產(chǎn)的系列熱工設備：【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】擴散爐是集成電路生產(chǎn)線(xiàn)前工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質(zhì)的類(lèi)型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區域

    詳細介紹

    詳細說(shuō)明

    生產(chǎn)的系列熱工設備：

    【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

        擴散爐是集成電路生產(chǎn)線(xiàn)前工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質(zhì)的類(lèi)型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區域。  
        在現代工業(yè)中，擴散爐常常用于半導體器件的擴散、氧化退火、燒結等工藝設備，也可作為磁性材料的燒結工藝，還可適用于機械行業(yè)的淬火，冶金業(yè)稀土燒結工藝。

    【產(chǎn)品特點(diǎn)】
    ●新型爐體設計，提高了溫度穩定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過(guò)程中溫度的快速穩定。
    ●主機為水平一至四管爐系統構架，獨立完成不同的工藝或相同工藝 。
    ●工業(yè)計算機控制系統，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門(mén)等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制。
    ●采用懸臂送片器：操作方便、無(wú)摩擦污染。
    ●工藝管路閥門(mén)管件組成氣密性好、耐腐蝕、無(wú)污染（管路均采用EP級電拋光管路），流量控制采用質(zhì)量流量計（MFC）進(jìn)口。
    ●具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

    【擴散爐系列性能技術(shù)指標】

     

    型號

    爐管內徑（mm）

    爐管數量（管）

    工作溫度（℃）

    恒溫區長(cháng)度（mm）

    升溫時(shí)間（min）

    穩定時(shí)間（min）

    升溫功率（KVA/管）

    恒溫功率（KVA/管）

    重量（Kg）

    外型尺寸

    （長(cháng)*寬*高）

    L4513Ⅱ-1/RZQ

    Φ80

    1

    500-1250℃短時(shí)間1300℃

    >700℃,600±0.5℃;

    <90

    <120

    <8.5

    <4

    320

    1400*560*1370

    L4513Ⅱ-2/RZQ

    L4513Ⅱ-3/RZQ

    450

    1400*560*1793

    L4514Ⅱ-1-3/RZQ

    Φ90

    1-#-3

    30

    <90

    <3.3

    485

    對應序號同上

    L4513Ⅱ-11/RZQ

    Φ90

    1

    <90

    <120

    <9.6

    <4.5

    330

    1400*560*1370

    L4513Ⅱ-12/RZQ

    2

    475

    1400*560*1793

    L4513Ⅱ-11-12/RZQ

    Φ98

    1-#-2

    <40

    <90

    <4.3

    450

    對應序號同上

    L4513Ⅱ-14/RZQ

    1

    <60

    <90

    <10

    <4.8

    360

    1600*500*1490

    L4513Ⅱ-15/RZQ

    2

    510

    1600*500*1903

    L4513Ⅱ-21/RZQ

    Φ100

    1

    <90

    <120

    <10

    <5

    340

    1400*560*1370

    L4513Ⅱ-22/RZQ

    2

    500

    1400*560*1793

    L4514Ⅱ-21-22/RZQ

    Φ118

    1-#-2

    <40

    <90

    <4.8

    490

    對應序號同上

    L4513Ⅱ-31/RZQ

    Φ120

    1

    <40

    <150

    <12

    <6.5

    400

    1600*600*1409

    L4513Ⅱ-32/RZQ

    2

    580

    1600*600*1903

    L4512Ⅱ-31-32/RZQ

    1-#-2

    <90

    <5.5

    580

    對應序號同上

    L4514Ⅱ-31-32/RZQ

    Φ135

    1-#-2

    同上

    同上

    <12

    <6

    600

    1600*600*1720

    L4514Ⅱ-41-42/RZQ

    Φ150

    <13.5

    <6.8

    L4514Ⅱ-51-52/RZQ

    Φ180

    1-#-2

    同上

    同上

    <18

    <9

    650

    1700*600*1800

    L4514Ⅱ-61-62/RZQ

    Φ200

    1-#-2

    <120

    <160

    <20

    <10

    680

    1750*650*1850

    L4514Ⅱ-71-72/RZQ

    Φ240

    1-#-2

    <120

    <180

    <24

    <12

    700

    1800*700*1900

    說(shuō)明 :  1、全部指標為靜態(tài) 。  2、分離式注明“F"。  3、特殊要求，另行設計制造。

     

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