北京環(huán)創(chuàng )科學(xué)儀器有限公司
員1.png)
北京環(huán)創(chuàng )科學(xué)儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號微控擴散爐
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà)：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-11-22 16:54:10瀏覽次數：78次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)詳細說(shuō)明生產(chǎn)的系列熱工設備：全功能微控擴散系統【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】該系統式生產(chǎn)半導體器件和大規模集成電路的重要工藝設備,廣泛應用于半導體器件的擴散、氧化、退火、燒結等工藝，也可用于磁性材料的燒結及機械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結
生產(chǎn)的系列熱工設備：
全功能微控擴散系統
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
該系統式生產(chǎn)半導體器件和大規模集成電路的重要工藝設備,廣泛應用于半導體器件的擴散、氧化、退火、燒結等工藝，也可用于磁性材料的燒結及機械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結。
控溫采用研制的高精度電腦控制系統，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，控制穩定，操作簡(jiǎn)單，維修方便。
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
●工藝溫度段數：1—14段，可選段運行
●單段時(shí)間范圍：1—1080min/斜變段 1—9999min/恒溫段
●三個(gè)溫度測控回路獨立修正溫度測量值
●三個(gè)溫度測控點(diǎn)獨立修正溫度測量值
●PID參數，溫度修正量可在線(xiàn)修改
●溫度設定單位：℃ 分辨率：0.1℃
●工藝段時(shí)間設定單位：min，分辨率1min
●各類(lèi)工藝數據斷電后長(cháng)期保存
●工藝氣體流量，推拉舟運動(dòng)狀態(tài)有微機實(shí)行閉環(huán)控制
●中文顯示各類(lèi)提示信息
【主要技術(shù)指標】
●擴散爐管數：1—4管/臺
●爐管內徑：Φ90—Φ240mm
●恒溫區長(cháng)度：≤600mm±1℃（300-#-800℃）
≤600mm±0.5℃（800-#-1250℃）
●單點(diǎn)穩定性：±1℃/24h（300-#-800℃）
±0.5℃/24h（800-#-1250℃）
●氣源路數：≤6路/管
●氣源控制：MFC或浮子流量計
●推拉舟行程：1500mm
●推拉舟速度范圍及精度：（1—1000）±3mm
●推拉舟位置控制精度：≤3mm
●冷卻方式：水冷+風(fēng)冷
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
紡織服裝機械網(wǎng) 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
