潔凈氮氣柜
★潔凈氮氣柜產(chǎn)品說(shuō)明：
● 控制方式：采用濕度/氧含量控制的方法。
● 100級高潔凈過(guò)濾器FFU采用美國等進(jìn)口品牌。
● 離心風(fēng)機采用德國等進(jìn)口品牌。
● 采用可選配高品質(zhì)靜電消除裝置。
● 對氮氣進(jìn)行前期潔凈預處理。
● 采用雙數顯式控制器，對箱內濕度或含氧量進(jìn)行顯示和控制（二選一）。設備具有很好的密封性能，塵埃過(guò)濾，水平或垂直送風(fēng)。
● 設備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮氣流量控制,高潔凈過(guò)濾器受阻等多個(gè)系統.
● 控制儀可選配置進(jìn)行溫濕度含氮量數據的實(shí)時(shí)顯示,輸出和報警功能。
● 模組化設計：本機器采用的模組化設計，溫濕度顯示器、控制系統、除塵系統及除靜電系統均能快速更換，保養及維修簡(jiǎn)便，大大提升維護效率。
★產(chǎn)品應用：
● 適合半導體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設計都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無(wú)自?xún)艄δ?故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈氮氣柜則適合存放需要低濕保存，同時(shí)又需要避免灰塵污染的物品.
★規格參數：
● 潔凈等級：Class 100
● 規格尺寸：W1310*D800*H1990mm
● 材 質(zhì)：SUS304雙鏡面
● 潔凈等級：Class 100
● 除濕等級：5RH%以下
● 溫度精度：±1℃
● 濕度精度：±3%RH
● 層 數：3層
● 電 壓：220V 50Hz
★技術(shù)指標：
1）潔凈等級
專(zhuān)業(yè)高效潔凈過(guò)濾裝置，濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細玻璃纖維,確保潔凈柜內CLASS 100~1000級。
2）TDH參數
即存放在潔凈柜內經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)的硅片不能有不正?；虺瑯朔殿w粒的現象產(chǎn)生。
3）降濕速度
除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時(shí)間不大于30min；
4) 進(jìn)口無(wú)塵風(fēng)機：采用進(jìn)口無(wú)塵室專(zhuān)用FFU風(fēng)機，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；
5）靜電殘余值（選配）
潔凈氮氣柜內放置的硅片盒，經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)后，硅片盒取樣及定點(diǎn)測試靜電值必須≦1kv
6）風(fēng)速均勻性
潔凈柜內有氮氣的，可使用風(fēng)速測定儀來(lái)檢測內部硅片放置各點(diǎn)的風(fēng)速，不能有較大差異。
7）溫濕度顯示管理。
溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；
溫濕度顯示監控: 可對溫濕度作24小時(shí)不間斷的監控，在潔凈柜在關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過(guò)±5%RH的波動(dòng)。
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