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    納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統 VS1800

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    測量表面形貌的新標準隨著(zhù)材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結構的微細化，人們開(kāi)始要求比傳統的普通SPM（掃描探針顯微鏡）、觸針式粗糙度測量?jì)x及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統VS1800，使用更方便，測量精度跟高，測量范圍更大。此外，傳統的采用線(xiàn)粗的測量方式仍存在“測量位置導致的結果偏差"和“掃描方向導致的結果偏差"等重大課題。VS1800的解決對策是通過(guò)參照國際標準ISO25178規定的表面形貌評估方法來(lái)計算參數，建立測量表面形貌的新標準，...

    詳細介紹

    概述
    產(chǎn)品參數

    測量表面形貌的新標準

    隨著(zhù)材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結構的微細化，人們開(kāi)始要求比傳統的普通SPM（掃描探針顯微鏡）、觸針式粗糙度測量?jì)x及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統VS1800，使用更方便，測量精度跟高，測量范圍更大。此外，傳統的采用線(xiàn)粗的測量方式仍存在“測量位置導致的結果偏差"和“掃描方向導致的結果偏差"等重大課題。VS1800的解決對策是通過(guò)參照國際標準ISO25178規定的表面形貌評估方法來(lái)計算參數，建立測量表面形貌的新標準，從而受到了各界的關(guān)注。

    ■與普通測量?jì)x器比較

    原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測量系統AFM5500M同樣可實(shí)現高度的分辨率為0.1nm以下，與此相比，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統VS1800的一大特點(diǎn)在于面內方向的測量范圍更大。發(fā)揮兩種測量系統各自的優(yōu)點(diǎn)，根據需求選擇的測量系統有利于生產(chǎn)率的提高。

    優(yōu)點(diǎn)

    1. 高分辨率、大范圍
      采用的算法，實(shí)現垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于無(wú)需依賴(lài)于物鏡的倍率即可實(shí)現較高的垂直方向分辨率，即使是大范圍（測量視野6.4 mm × 6.4 mm）的情況下，也能測量納米尺度的粗糙度、高差。

      Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）

    2. 測量數據的重現性高
      高度測量使用干涉條紋，將Z驅動(dòng)產(chǎn)生的影響控制在最小程度，從而實(shí)現測量重現性誤差低于0.1%（Phase模式下）。

    3. 高速測量
      通過(guò)以平面捕捉樣品，不對X、Y方向進(jìn)行掃描，從而實(shí)現高速測量，并且由于采用非接觸方式，測量時(shí)能夠保證不會(huì )給樣品帶來(lái)?yè)p傷。

    4. 無(wú)損傷測量
      對于以往切割樣品后形成截面來(lái)對多層膜層結構及層內部進(jìn)行的異物測量，VS1800能夠以無(wú)損傷方式進(jìn)行。對于透明層結構樣品，利用透鏡的高度坐標以及各界面產(chǎn)生的反射光，通過(guò)各光學(xué)界面出現的干涉條紋輸出虛擬截面圖像。

    5. 測量簡(jiǎn)單
      搭載有可直觀(guān)性使用的操作畫(huà)面，可以當場(chǎng)確認處理后的圖像?？梢院?jiǎn)單地將處理及分析內容列表、生成原始分析庫、重復使用分析庫等。還支持數據的批量處理，統一管理多個(gè)樣品及分析結果，減輕繁雜的后處理程序。
      此外，導入表面形貌評估方法的國際標準ISO25178的項目，自動(dòng)按每個(gè)樣品選擇合適的參數。VS1800搭載有可對參數選擇提供建議的工具，有助于提高管理的精度。

    6. 配置靈活
      手動(dòng)X(jué)Y樣品臺為基本型號Type 1，并提樣品臺電動(dòng)化逐級提升的Type 2以及Type 3。各型號的升級可通過(guò)需求來(lái)進(jìn)行，根據用途輕松引進(jìn)系統


    產(chǎn)品參數
    機型Type 1Type 2Type 3
    Z軸馬達驅動(dòng)標配（Z軸移動(dòng)范圍～10㎜）
    PZT驅動(dòng)新增選配（Z軸移動(dòng)范圍～150 μm）
    XY樣品臺驅動(dòng)方式手動(dòng)電動(dòng)
    移動(dòng)范圍± 50 mm± 75 mm
    樣品臺尺寸W205 × D150 mmW225 × D225 mm
    測角臺驅動(dòng)方式手動(dòng)電動(dòng)
    移動(dòng)范圍± 2°± 5°
    測量相機標準相機或高像素相機
    鏡筒× 1或 × 0.5
    變焦透鏡× 0.7透鏡（新增選配）
    物鏡× 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110
    樣品高度標準0～50 mm
    使用加高配件時(shí)50～100 mm0～100 mm
    電腦OSWindows 10
    減震臺（帶支架）被動(dòng)式或主動(dòng)式

    軟件一覽

    標配新增選配
    測量軟件表面形貌測量大傾斜角測量
    分析軟件ISO參數（參照ISO25178）
    輪廓分析、頻帶分解
    負荷曲線(xiàn)分析、顆粒分析
    熱歐姆轉換、線(xiàn)段分析    		界面分析、層面分析
    截面面積、線(xiàn)測量



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