青島浩正科儀智能技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2025-03-03 21:42:45瀏覽次數：31次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)電鏡主動(dòng)減振系統1、減振平臺安裝尺寸（長(cháng)×寬×高）：1130×902×200（mm）（可以根據不同電鏡定制），減振平臺重量：190kg
電鏡主動(dòng)減振系統
1、 減振平臺安裝尺寸（長(cháng)×寬×高）：1130×902×200（mm）（可以根據不同電鏡定制），減振平臺重量：190kg；
2、 主動(dòng)減振帶寬：：0.5Hz至100Hz；
3、 產(chǎn)生磁場(chǎng)強度：≤0.3mGpkpk；
4、靜息時(shí)間：300ms；
5、平臺負載重量：300kg至1500kg；
6、 減振效果：從0.5Hz開(kāi)始有減振效果；到2Hz，水平和垂直兩個(gè)方向均達到-20dB的衰減（90%衰減）；
7、控制自由度：6；
8、控制方式：含前饋的雙重主動(dòng)控制；
9、執行單元：直線(xiàn)電機；
10、推力常數：80N/Amp；
11、壓縮空氣：不需要；
12、 安裝/調試：由專(zhuān)業(yè)研發(fā)工程師現場(chǎng)針對性安裝、調試；
13、適用機型：用于SEM、FIB、Dual Beam機臺等。
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