無(wú)錫市森乾機械量?jì)x有限公司
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更新時(shí)間：2025-05-07 13:25:35瀏覽次數：1次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)白光干涉儀：應用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機電元件、平面液晶顯示器、高密度線(xiàn)路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
白光干涉儀AE-100M產(chǎn)品用途：
結合光學(xué)顯微鏡與白光干涉功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機電元件、平面液晶顯示器、高密度線(xiàn)路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
● 納米深度3D檢測
● 高速、無(wú)接觸量
● 表面形狀、粗糙度分析
● 非透明、透明材質(zhì)皆適用
● 非電子束、非雷射的安全量測
● 低維護成本
專(zhuān)業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）：
● 提供多功能又具友好界面的3D圖形處理與分析
● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能
● 提供高階標準片的軟件自校功能
● 深度、高度分析功能提供線(xiàn)性分析與區域分析等兩種方式
● 線(xiàn)性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Roughness）與起伏度
● （waviness）的測量分析?？商峁┒噙_17種的ISO量測參數與4種額外量測數據（Wafer）
● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析
● 具有平滑化、銳化與數字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能
● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan)：
● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
● 垂直高度可達0.1nm
● 高速的分析算法則，讓你不在苦候測量結果
● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺X、Y、Z位置數字式顯示，使檢測目標尋找快速又便利
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強度調整功能以取得較佳的干涉條紋對比
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇
● 具有解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
● 具有自動(dòng)補點(diǎn)功能
● 可自行設定掃描方向
白光干涉儀AE-100M技術(shù)規格參數：
| 型號 | AE-100M | ||
| 移動(dòng)臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ，行程13*13 | ||
| 物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
| 觀(guān)察與量測范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
| 光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
| 收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
| 工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| 傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
| 機臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
| Z軸移動(dòng)范圍 | 45mm , 手動(dòng)細調;可訂制150mm | ||
| Z軸位置數字顯示器 | 分辨力1μm | ||
| 傾斜調整平臺 | 雙軸/手動(dòng)調整 | ||
| 高度測量 | |||
| 測量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
| 量測分辨力 | 0.1nm | ||
| 重復精度 | ≤ 0.1％ (量測高度:>10μm) | ||
| ≤10nm(量測高度1μm 10μm) | |||
| ≤ 5nm(量測高度:<1μm> | |||
| 量測控制 | 自動(dòng) | ||
| 掃描速度(μm/s) | 12 | ||
| 光源 | |||
| 光源類(lèi)型 | 儀器用鹵素（冷）光源 | ||
| 平均使用壽命 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)（150W） | ||
| 光強度調整 | 自動(dòng)/手動(dòng) | ||
| 數據處理與顯示用計算機 | |||
| 處理運算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
| 影像與數據顯示屏幕 | 21" 雙晶屏幕 | ||
| 操作系統 | Win7 | ||
| 電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
| 環(huán)境振動(dòng) | VC-C等級以上 | ||
| 測量分析軟件 | |||
| 量測軟件ImgScan | ImgScan測量軟件：具VSI/ PVSI/PSI 測量模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配） | ||
| 分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利葉轉換和濾波，多樣的2D和3D 觀(guān)測視角圖，外形/面積/體積分析，圖像縮放、標準影像文件格式轉換 報表輸出，程序教導測量等。 | ||
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